云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 李学冬

李学冬: 作品数：1被引量：7H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：南开大学更多>>; 发文主题：多晶硅金属诱导晶化大尺寸NI薄膜晶体管更多>>; 发文领域：理学电子电信更多>>; 发文期刊：《物理学报》更多>>; 所获基金：天津市自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>

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大尺寸化学Ni源金属诱导晶化多晶硅的研究被引量：7: 《物理学报》2006年第11期6095-6100,共6页赵淑云吴春亚刘召军李学冬王中孟志国熊绍珍张芳; 国家高技术研究发展计划(863)(批准号:2004AA303570);国家自然科学基金重点项目(批准号:60437030);天津市自然科学基金(批准号:05YFJMJC01400);国家出国留学人员回国基金资助的课题.~~; 用无电电镀的化学方法,在VHF-PECVD沉积获得的非晶硅薄膜表面形成镍诱导源,在550℃下退火若干小时,可以诱导产生微米量级的多晶硅晶粒.用此法形成的镍源可以均匀地分布在非晶硅薄膜的表面.非晶硅薄膜上形成晶核的数量取决于镍溶液的浓度...; 关键词：金属诱导晶化化学源多晶硅薄膜晶体管