汪建华

作品数：4被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院自动化研究所更多>>
发文主题：视觉控制机器人四象限探测器移植性监控装置更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《机器人》《制造业自动化》《传感技术学报》《高技术通讯》更多>>
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基于PLC的大范围运动与高精度对准控制被引量：2
《制造业自动化》2007年第6期48-52,67,共6页李庆涛 徐德 刘云 汪建华 
国家863计划资助项目(2004AA420040-2)
针对掩模版传输过程中的大范围运动与高精度对准这两个关键问题,本文采用基于PLC的全闭环位置控制方法,设计了用于掩模版传输和对准的机械手控制系统。对于大范围运动,利用旋转编码器和光栅尺检测机械手的速度和位移,构成三闭环控制系...
关键词：大范围传输 对准 运动控制器 全闭环位置控制 四象限探测器 
基于四象限探测器的掩模版对准检测与控制被引量：3
《传感技术学报》2007年第5期1188-1192,共5页汪建华 徐德 刘云 赵晓光 王秀青 谭民 
国家863计划项目资助(2004AA420040)
提出一种基于可编程控制器和四象限探测器的集成电路掩模版对准系统.该系统采用两个四象限探测器构成对准检测装置,实现对掩模版对准误差的实时检测.通过合理选择对准检测装置的安装位置与姿态,实现对准误差与掩模版运动之间的解耦.对...
关键词：四象限探测器 对准 检测与控制 掩模版 
一种新型的掩膜管理控制系统的研制
《高技术通讯》2007年第1期32-38,共7页刘云 徐德 汪建华 王秀青 赵晓光 谭民 
863计划（2004AA420040）和973计划（2002CB312200）资助项目.
研制了一种与掩膜光刻机相配套的新型掩膜管理控制系统。系统硬件由1个4自由度机械手、2个版库、粗预对准机构、精细预对准机构、PIE控制器和伺服驱动器等构成；系统软件由基于VC的上层管理程序以及基于梯形图的底层流程控制程序构成，...
关键词：掩膜版 预对准 四象限光电探测器 控制系统 光刻机 梯形图 
一种5自由度视觉伺服机器人的跟踪控制研究被引量：6
《机器人》2005年第3期215-219,共5页汪建华 赵晓光 谭民 
国家863计划资助项目(2002AA421170).
提出了一种基于图像的视觉伺服机器人系统的结构,以及该系统跟踪平面运动目标的算法.该系统有5个自由度,包括一个3自由度的机器人和一个2自由度的手腕,手腕安装在机器人末端,而摄像机安装在手腕末端.由于具有较小的运动惯量,手腕可快速...
关键词：机器人 视觉伺服 主动视觉跟踪 
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