陈长青

作品数：3被引量：19H指数：3
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供职机构：北京真空电子技术研究所更多>>
发文主题：碳纳米管定向碳纳米管MPCVD光学级化学气相沉积更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国防科技重点实验室基金更多>>
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无支撑、光学级MPCVD金刚石膜的研制被引量：4
《真空科学与技术学报》2011年第6期661-665,共5页丁明清 陈长青 白国栋 李含雁 冯进军 胡银富 
国防科技重点实验室基金项目
利用引进的6 kW微波等离子体化学气相沉积设备,进行了无支撑金刚石膜工艺的初步研究。在800~1050℃的基片温度范围内,金刚石膜都呈（111）择优取向;基片相对位置对沉积较大面积、光学级金刚石膜至关重要。制出0.25 mm厚Φ50 mm的无支撑...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 无支撑金刚石膜 光学透过率 
利用UV曝光技术研制单根定向碳纳米管阵列冷阴极被引量：3
《真空科学与技术学报》2010年第1期1-5,共5页陈长青 丁明清 李兴辉 白国栋 张甫权 冯进军 
大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室的资助.
通过普通的紫外（UV）光刻工艺，结合“变倾角缩口”新技术，研制了不同发射单元尺寸的碳纳米管（CNTs）阵列阴极。扫瞄电镜分析表明，随着缩口尺寸的依次减小（从0．6μm到0．4μm，最后到0．2μm），发射单元内CNTs的根数也不断减少...
关键词：UV光刻技术 变倾角缩口 定向碳纳米管的生长 场发射阵列冷阴极 
微图形定向碳纳米管场发射阵列冷阴极的研究被引量：12
《真空科学与技术学报》2007年第5期363-366,共4页陈长青 丁明清 李兴辉 白国栋 张甫权 冯进军 邵文生 
大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室的资助
本文介绍了一种微图形化碳纳米管场发射阵列冷阴极,每个图形的直径仅为1μm,构成一个发射单元。制作工艺如下:首先在硅(100)基片上沉积氮化钛缓冲层,然后采用曝光工艺获得直径为1μm的胶孔阵列,沉积催化剂铁,最后采用直流等离子体增强...
关键词：微图形 定向碳纳米管 场发射阵列冷阴极 直流等离子体增强化学气相沉积 
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