饶伏波

作品数:7被引量:34H指数:2
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供职机构:西北工业大学更多>>
发文主题:MEMS自适应光学系统波前校正自适应光学微机电系统更多>>
发文领域:电子电信机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊:《微纳电子技术》《航空制造技术》《光学仪器》《传感技术学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法
《航空制造技术》2007年第6期80-82,89,共4页饶伏波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金重大专项(90407020)资助项目。
针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pullin)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响。通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动...
关键词:平板电容驱动器 有效行程 拉入 MEMS 
大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究被引量:2
《西北工业大学学报》2005年第5期637-641,共5页乔大勇 苑伟政 饶伏波 
国家自然科学基金(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助
针对微变形镜镜面残余应力变形问题,使用数值法分析了多晶硅层和金属层不等面积的双层微机械薄膜残余应力影响下的变形情况,得到了变形-金属膜尺寸的关系曲线,确定了特定应力下最佳的金属反射面大小;此外,还利用弹性系数可变的折叠梁对...
关键词:微机电系统 分立式微变形镜 大冲程 低PV值 
几种分立式微变形镜的性能模拟与比较
《光学仪器》2005年第5期60-63,共4页饶伏波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金重大专项资助项目(90407020)
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Streh l比两方面比较了四种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形与砖形排列的微变形镜设计简单,但波前校正性能较差;圆形及蜂窝形微变形镜具有较高的波前校正性能,但设计加工...
关键词:微机电系统 波前校正性能 波前校正器 自适应光学系统 
几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较
《航空精密制造技术》2005年第5期14-17,共4页乔大勇 饶伏波 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金重大专项资助项目(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助项目
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形排列的微变形镜设计简单,需驱动电压较低,但波前校正性能较差;圆形微变形镜性能最优,但设计复杂,...
关键词:微机电系统 自适应光学技术 微变形镜 排列方式 
一种新型CCD驱动电路设计方法被引量:27
《传感技术学报》2005年第2期388-390,共3页虞益挺 饶伏波 乔大勇 苑伟政 
国家自然科学基金资助项目(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助项目
在结合直接数字电路驱动法与单片机口驱动法的基础上,设计了一种新型的CCD驱动电路,保留了原有两种方法各自的优点。仿真与实验结果表明该方法能提供多路驱动时序,驱动频率高,硬件电路简单,编程方便,具有较好的性价比及应用推广价值,已...
关键词:CCD ICX038BLA 驱动电路 电荷耦合器件 
静电活塞式驱动的分立式微镜的快速仿真(英文)
《微纳电子技术》2005年第2期78-82,共5页饶伏波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 
ThisworkwassponsoredbytheNationalNaturalScienceFondationofChina(90407020)
用解析的方法对典型的基于SUMMIT工艺、静电活塞式驱动的分立式微镜进行了快速的静态与动态仿真,避免了有限元法的繁琐性。在微镜阵列变形时的孔径函数不能用解析表达式表示的情况下,应用MATLAB软件实现了快速傅里叶变换,得到了单色平...
关键词:MEMS 微镜 仿真 相位调制 
自适应光学系统MEMS微变形镜的研究被引量:5
《纳米技术与精密工程》2004年第4期288-293,共6页饶伏波 乔大勇 苑伟政 
国家自然科学基金重大专项资助项目(90407020).
指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱 的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题.
关键词:MEMS技术 自适应光学系统 驱动 分立式 电容式 优点 性能 瓶颈 研究所 
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