卢茜

作品数：5被引量：1H指数：1
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：电子封装技术粘附性能引线框架材料防潮性能金属表面更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《半导体技术》《物理》《电子显微学报》更多>>
所获基金：上海市教育委员会重点学科基金上海市科学技术委员会资助项目国家科技重大专项更多>>
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利用PⅢ技术改变框架与EMC间附着力的研究
《半导体技术》2011年第6期434-438,共5页刘立龙 张昕 卢茜 周乾飞 吴晓京 
国家科技重大专项(2009ZX02025)
利用等离子体浸没式注入(PⅢ)技术,使用O2,N2,CO和CO2做气体源,对镀镍铜框架表面进行处理。拉力测试实验结果表明,与未经处理的空白框架相比,经过CO和CO2等离子体注入处理的镀镍铜框架与环氧塑封料(EMC)间的附着力分别提高了约35倍和12...
关键词：镀镍铜框架 环氧塑封料 等离子体浸没式注入 附着力 羰基 
Cu／Ta／SiO2／Si薄膜在纳米压痕下的分层现象研究被引量：1
《半导体技术》2008年第9期787-790,共4页吴子景 吴晓京 卢茜 Shen Weidian 蒋宾 
上海市科委项目(0552nm049);上海市重点学科建设项目(B113)
采用磁控溅射技术在热氧化单晶硅衬底上先后淀积了厚度分别为50 nm的Ta膜和400 nm的Cu膜。使用纳米压入仪在样品表面进行压入测试,在薄膜表面制造出残留压痕。使用扫描电镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)、透射电镜(TEM)和X射线能谱仪(EDX)对...
关键词：Cu/Ta薄膜 纳米压痕 分层 
Cu/Ta/SiO2/Si多层膜纳米压痕与压痕下微观结构的研究
《电子显微学报》2008年第4期282-286,共5页卢茜 吴子景 吴晓京 Weidian Shen 蒋宾 
上海市科委资助项目(No.0552nm049);上海市重点学科建设项目资助(No.:B113)
Cu/Ta/SiO2/Si多层膜结构是目前集成电路制造工艺中的常见结构,其硬度与弹性模量通过纳米压入技术测得。为了表征纳米压痕下的形变微观区域,采用聚焦离子束加工出压痕截面,同时进行扫描电子、扫描离子显微观察,发现样品衬底发生开裂,多...
关键词：Cu/Ta/SiO2/Si多层膜结构 纳米压入技术 压痕下微观结构 
无酸水热法制备多孔硅及其PⅢ表面改性
《半导体技术》2008年第6期488-491,494,共5页李慧 卢茜 吴子景 吴晓京 
上海市重点学科建设资助项目(B113)
采用无酸水热法,制备了多孔硅材料。使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段观察了样品表面形貌,比较了在不同氧化铋刻蚀剂量下得到的多孔硅结构,发现随着刻蚀剂浓度的增加,平均孔径尺寸变大,且孔径分布趋于离散。使用等离子浸没注入技...
关键词：无酸水热法 多孔硅 等离子体浸没注入技术 光致发光 
Si衬底对ZnO薄膜性能影响的研究
《物理》2008年第5期303-306,共4页周建青 周永宁 吴子景 卢茜 吴晓京 
上海市重点学科建设基金(批准号:B113)资助项目
使用脉冲激光沉积(pulsed laser deposition,PLD)技术,采用两种不同纯度(99.5%和99.99%)的ZnO靶材,在p型Si衬底上制备了两种ZnO/Si薄膜.原子力显微镜与X射线衍射分析表明,两种样品具有相似的显微形貌与相同的晶体结构.霍尔效应测试发现...
关键词：材料科学 ZNO薄膜 脉冲激光沉积 SI衬底 杂质元素S 
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