田中卓

作品数：34被引量：39H指数：4
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系更多>>
发文主题：磁控溅射FEFE-N薄膜NMPCVD更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《真空》《金属学报》《自然科学进展》《中国科学基金》更多>>
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降低适用于高密记录写入磁头的Fe-N薄膜矫顽力的研究
《人工晶体学报》2004年第2期159-163,共5页李丹 张静 雷牧云 田中卓 潘峰 
国家自然科学基金(No.19890310)资助项目
用RF磁控溅射方法,在高功率下制备厚度为2μm的薄膜,当N含量在5.9～8.5%原子分数范围内,形成α′+α″相时,4πMs=2.2T,Hc=58.6A/m,可以满足针对高存储密度的GMR/感应式复合读写磁头中写入磁头的需要。用该方法在不同的本底真空度下制备...
关键词：FE-N薄膜 矫顽力 磁头 RF磁控溅射 磁记录密度 磁记录介质 
纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究
《金属学报》2003年第2期204-208,共5页李丹 顾有松 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山 
国家自然科学基金资助项目19890310
在高溅射功率900 W 下用RF磁控溅射方法制备了厚为630-780nm的Fe-Ti-N薄膜,结果表明:当膜成分(原了分数, ％.下同)在Fe-3.9Ti-8.8N和Fe-3.3Ti-13.5N范围内,薄膜由α’和Ti2N沉淀组成,磁化强度4πMs超过纯铁,最商可达2.38T:而矫顽力Hc下...
关键词：结构 磁学性能 热稳定性 Fe-Ti-N纳米软磁薄膜 磁场热处理 高饱和磁化强度 
降低Fe-N软磁薄膜矫顽力的途径
《自然科学进展》2002年第11期1177-1181,共5页李丹 周剑平 顾有松 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山 
国家自然科学基金(批准号:19392300;19890310)
用RF磁控溅射沉积的Fe-N磁性薄膜,饱和磁化强度比较高,但矫顽力太高,因而降低H_c成为Fe-N是否可以用于高密度磁记录的关键,在低功率200W下溅射沉积200um的薄膜,在250℃,12000 A/m磁场下真空热处理后,当N含量在f_A为5％～7％范围内,形成a...
关键词：Fe-N软磁薄膜 矫顽力 RF磁控溅射 饱和磁化强度 磁记录材料 
Fe-N软磁薄膜的性能及其磁场热处理后的各向异性模型被引量：4
《金属功能材料》2002年第5期18-23,共6页李洪明 周剑平 顾有松 常香荣 赵春生 徐秀英 田中卓 
国家自然科学基金资助项目 (项目号:19890 310 ;19392 30 0 )
本文报道了采用RF磁控溅射制备出了高性能的Fe-N薄膜 ,膜厚约 2 0 0nm ,磁场热处理后薄膜中含有α′和少量γ′ ,具有优质的软磁性能 ,饱和磁化强度 2 4T ,高于纯铁的 ,矫顽力小于 80A/m ,2～ 10MHz下的磁导率为15 0 0。然后提出一个模...
关键词：FE-N薄膜 磁学性能 各向异性模型 磁吸热处理 软磁材料 
Fe-N软磁薄膜的结构和性能被引量：1
《中国科学（A辑）》2002年第2期132-140,共9页周剑平 李丹 顾有松 赵春生 常香荣 李福燊 乔利杰 田中卓 方光旦 宋庆山 
国家自然科学基金资助项目(批准号:19392300;19890310)
用RF溅射制备厚度为200nm的Fe-N薄膜在250℃,12000A/m磁场下真空热处理后,当N含量在5%~7%(原子百分数)范围内形成a′+a″相时,4πMs可达2.4T,Hc<80A/m,2~10MHz下高频相对导磁率μr=1500,可满足针对10Gb/in2存储密度的GMR/感应式复合读...
关键词：Fe-N系 磁性薄膜 软磁薄膜 结构 性能 硬盘 磁头材料 
RF溅射的Fe-N薄膜的磁导率研究被引量：1
《真空科学与技术》2001年第6期434-436,444,共4页顾有松 周剑平 李丹 常香荣 田中卓 方光旦 宋庆山 
国家自然科学重大项目资助课题 (1 9890 3 1 0 ; 1 93 92 3 0 0 )
研究了用ＲＦ溅射法制备的Ｆｅ Ｎ薄膜经过 2 50℃磁场热处理后高频磁导率的变化情况。实验结果发现 ,在优化生长条件下生长的Ｆｅ Ｎ薄膜样品 ,在 1～ 1 0ＭＨｚ的频率范围内 ,易磁化方向的高频磁导率较小 ,但其难磁化方向的相对磁导...
关键词：磁导率 FE-N薄膜 磁场热处理 RF溅射法 铁-氮薄膜 磁记录介质 磁场 热处理 
师先生和《自然科学进展》
《中国科学基金》2001年第1期15-16,共2页田中卓 
从1984年起,国家计委分两批建设153个国家重点实验室,大大加强了我国的基础和应用基础研究工作.这批实验室是通过专家评议择扰挑选出来的,师昌绪院士是首席评审专家.在高层策划时,师先生提出要为这些实验室办一个刊物.于是国家计委发文...
关键词：《自然科学进展》 师昌绪院士 科技期刊 编辑 出版 发行 
高密度记录磁头系统的结构和工作原理被引量：1
《磁性材料及器件》2000年第6期25-28,共4页周剑平 李华飚 顾有松 常香荣 赵春生 田中卓 
国家自然科学基金资助项目(19890310)
现代计算机技术的迅速发展 ,对硬盘的驱动器读写磁头提出了更高的要求 ,要求能满足高密度、一体化、小型化、集成化、高可靠、低能耗的需要 ,硬盘双元件薄膜读写磁头恰好能满足这些要求。简单介绍了双元件薄膜读写磁头的结构和工作原理。
关键词：磁头 Fe-N膜 自旋阀 
磁控溅射Fe-N薄膜及Fe-N/TiN多层膜的结构和磁性被引量：4
《真空科学与技术》2000年第5期311-314,共4页李华飚 乔祎 周剑平 赵春生 张永平 常香荣 田中卓 
国家自然科学基金重大项目资助!批准号 :19890 310
用磁控溅射法制备了Fe N薄膜和Fe N/TiN多层膜。结果表明 ,在常温下 ,使用较小的氮、氩比溅射 ,生成的Fe N薄膜主要是含氮α Fe固溶体 ,并且N原子进入α Fe晶格是饱和磁化强度提高的一个原因。Fe N/TiN多层膜的层间耦合作用以及减小每一...
关键词：结构 磁性 溅射沉积 FE-N薄膜 Fe-N/TiN多层膜 
MPCVD制备β-C_3N_4薄膜的成分和结构研究
《人工晶体学报》2000年第S1期142-,共1页张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金!资助课题 (196 740 0 9)
M .L .Cohcn和A .Y .Liu利用半经验公式和第一性原理计算表明 ,如果C和N能够结合成类似于 β Si3 N4结构的化合物 β C3 N4,由于C N的键长比C C的键长短和键的离子性小 ,它的体弹性模量B约为 483GPa至 42 7GPa ,接近甚至超过金刚石的体...
关键词：C_3N_4膜 微波等离子体化学气相沉积法 弹性模型 
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