张秀芳

作品数：7被引量：21H指数：4
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：化学气相沉积MPCVD微波等离子体氮化碳硬膜更多>>
发文领域：理学化学工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《真空电子技术》《功能材料》《材料研究学报》《物理学报》更多>>
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微波等离子体化学气相沉积法制备C_3N_4薄膜的结构研究被引量：5
《物理学报》2001年第7期1398-1400,共3页张永平 顾有松 高鸿钧 张秀芳 
国家自然科学基金! (批准号 :196740 0 9)&&
采用微波等离子体化学气相沉积法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶Si(10 0 )基片上沉积C3N4薄膜 .利用扫描电子显微镜观察薄膜形貌 ,表明薄膜由密排的六棱晶棒组成 .X射线衍射和透射电子显微镜结构分析说明该...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积法 C3N4薄膜 结构研究 
MPCVD制备β-C_3N_4薄膜的成分和结构研究
《人工晶体学报》2000年第S1期142-,共1页张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金!资助课题 (196 740 0 9)
M .L .Cohcn和A .Y .Liu利用半经验公式和第一性原理计算表明 ,如果C和N能够结合成类似于 β Si3 N4结构的化合物 β C3 N4,由于C N的键长比C C的键长短和键的离子性小 ,它的体弹性模量B约为 483GPa至 42 7GPa ,接近甚至超过金刚石的体...
关键词：C_3N_4膜 微波等离子体化学气相沉积法 弹性模型 
用微波等离子体CVD制备C_3N_4薄膜被引量：2
《材料研究学报》2000年第3期311-314,共4页张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金!19674009
采用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD），使用高纯N2（99．999％）和CH4（99．9％）作反应气体，在多晶Pt（9．99％）基片上沉积C3N4薄膜X射线能潜（EDX）分析结果表明N／C原子比为1．0～1．4；接近C3N4的化学比；X射线衍射谱（XRD...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 β-C3N4 薄膜 制备 
超硬薄膜β-C_3N_4的制备和表征被引量：4
《功能材料》2000年第2期172-174,共3页张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金!资助课题 ( 1 9674 0 0 9)
本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶硅和多晶铂基片上沉积 β -C3N4薄膜。X射线能谱 (EDX)分析了这种晶态C -N膜的化学成分 ,对不同样品的分析结果表明 ,N/C原子比在...
关键词：β-C3N4 超硬薄膜 MPCVD 制备 表征 
微波等离子体化学气相沉积法制备C_3N_4薄膜的研究
《真空电子技术》2000年第1期52-55,共4页张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金资助课题! ( 19674 0 0 9)
本文采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),高纯N2(99.999%)和CH4(99.9%)作反应气体,在多晶Pt(99.99%)基片上沉积C3N4薄膜。X-射线能谱(EDX)分析结果表明N/C原子比为1.0～1.4,接近C3N4的化学比;X射线衍射谱说明薄膜主要由β和α-C3N4...
关键词：微波等离子体 化学气相沉积 薄膜 
C_3N_4硬膜的人工合成和鉴定被引量：6
《中国科学（A辑）》1999年第8期757-768,共12页顾有松 张永平 常香荣 田中卓 陈难先 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金!(批准号 :19392 30 0 ;196 740 0 9);北京科技大学新材料国家重点实验室和中国科学院北京真空物理实验室资助项目
用微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)在硅和铂衬底上得到高质量的C3 N4薄膜 .计算了α C3 N4和β C3 N4单相X射线谱的峰位和强度 ,沉积膜的X射线谱具有两相的所有强峰 ,证明它是α 和β C3 N4的混合物 .总的N/C比在 1 0～ 2 0之间 ....
关键词：氮化碳 MPCVD 硬膜 化学气相沉积 人工合成 鉴定 
理论预言的氮化碳超硬膜研究新进展被引量：4
《物理》1999年第8期479-484,共6页顾有松 张永平 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 
国家自然科学基金
β－Ｃ３Ｎ４的理论预言发表之后，经过广大科学工作者近１０年的努力，已经取得了一些重要进展．理论上对碳氮化合物的研究已经更为广泛和深入．实验合成方面也取得了长足的进展．文章作者在Ｓｉ、Ｐｔ等基底上初步合成了晶态的β－Ｃ...
关键词：超硬材料 氮化碳 薄膜 晶态 研究进展 
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