张保丽

作品数：6被引量：5H指数：2
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供职机构：北京信息科技大学更多>>
发文主题：气流式敏感元件热敏元件微机械气流更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《压电与声光》《北京信息科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金北京市重点实验室开放基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
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MEMS热敏元件工艺仿真技术的研究
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》2012年第4期93-96,共4页梅传志 朴林华 张保丽 
国家自然科学基金资助项目(60772012);新世纪优秀人才支持计划(NCET)资助项目;北京市重点实验室开放课题资助项目;北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目;现代测控技术教育部重点实验室资助;北京市教委科技面上项目(KM201110772020);北京市自然科学基金项目(4122030)
在微射流陀螺工艺制造和设计的基础上,针对MEMS热敏元件的工艺信息,对其进行MEMS工艺仿真技术的研究。建立了MEMS热敏元件工艺结构的基本模型,基于这一模型,利用L-Edit编辑器绘制了完整版图结构;研究了工艺流程的模拟实现方法,利用基于T...
关键词：MEMS工艺 热敏元件 版图文件 工艺文件 
腔体结构对射流陀螺分辨率影响的有限元分析
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》2012年第3期10-14,共5页张保丽 朴林华 梅传志 
国家自然科学基金资助项目(60772012);新世纪优秀人才支持计划(NCET)资助项目;北京市重点实验室开放课题资助项目;北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目;现代测控技术教育部重点实验室资助;北京市教委科技面上项目(KM201110772020);北京市自然科学基金项目(4122030)
对两种不同腔体结构射流陀螺敏感元件内的流场进行对比分析。采用有限元方法,利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件,通过建模、划分网格、加载和求解等途径,计算了矩形结构腔体和流线型结构腔体射流陀螺敏感元件内的二维流场分布。计算结果表明:...
关键词：腔体结构 有限元分析 流场分布 流速梯度 
微机械全方位水平姿态传感器的研究被引量：2
《压电与声光》2012年第2期207-209,213,共4页朴林华 崔雪梅 王星 余全刚 梅传志 张保丽 
国家自然科学基金资助项目(60772012);新世纪优秀人才支持计划基金(NCET)资助项目;北京市重点实验室开放课题基金资助项目;北京市新世纪百千万人才工程培养基金资助项目;现代测控技术教育部重点实验室基金资助项目;北京市教委科技面上基金资助项目(KM201110772020)
提出了一种能敏感全方位水平姿态的微机械传感器。采用微机械工艺制作的正八边形敏感元件敏感全方位水平姿态;通过前置信号电路和数字电路构成信号处理电路,实现倾角电压信号的提取,全方位信号合成和全方位倾角信号的灵敏度补偿。测试...
关键词：微机械 全方位 水平姿态 敏感元件 
一种气流式全方位水平姿态敏感技术
《传感器与微系统》2012年第1期32-34,37,共4页朴林华 丁霞 余全刚 王星 张保丽 梅传志 
国家自然科学基金资助项目(60772012);新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET);北京市重点实验室开放课题资助项目;北京市新世纪百千万人才工程培养计划资助项目;现代测控技术教育部重点实验室资助项目;北京市教委科技面上项目(KM201110772020)
提出了一种气流式全方位水平姿态敏感技术。在密闭腔体内有一非闭合环形圈热源,在热源周围设置8根两两相对平行的热电阻丝构成全方位水平姿态敏感元件;通过前置信号电路和数字电路构成信号处理电路,实现倾角电压信号的提取、全方位信号...
关键词：气流 全方位 水平姿态 敏感技术 
二维气流式水平姿态传感器的结构和信号处理
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》2011年第6期17-20,共4页朴林华 崔雪梅 王星 余全刚 梅传志 张保丽 
国家自然科学基金资助项目(60772012);新世纪优秀人才支持计划(NCET)资助项目;北京市重点实验室开放课题资助项目;北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目;现代测控技术教育部重点实验室资助项目;北京市教委科技面上项目(KM201110772020)
提出了一种能同时敏感2个垂直方向上倾角的二维水平姿态传感器。在2个轴线相互垂直的圆柱形密闭腔体中设置2对热敏电阻;通过2个惠斯登电桥输出x轴向和y轴向的倾角电压。为了克服影响传感器的环境因素,提出了零位温度补偿、灵敏度温度补...
关键词：水平姿态 二维 敏感元件 
微机械气流式倾角传感器的研究被引量：3
《传感器与微系统》2011年第12期60-61,64,共3页朴林华 崔雪梅 余全刚 王星 梅传志 张保丽 
国家自然科学基金资助项目(60772012);新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET);北京市重点实验室开放课题资助项目;北京市新世纪百千万人才工程培养计划资助项目;现代测控技术教育部重点实验室资助项目;北京市教委科技面上项目(KM201110772020)
提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽,在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂梁,用半圆球外壳封装成一个密闭腔体形成敏感元件;通过惠斯登电桥提取倾角电压信号;利用单片机和温度传...
关键词：微机械 倾角 气流 敏感元件 
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