唐晓红

作品数:5被引量:10H指数:2
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供职机构:天津师范大学物理与材料科学学院更多>>
发文主题:溅射光学性能和光氧化钛薄膜氧化钒更多>>
发文领域:理学机械工程一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊:《激光与光电子学进展》《天津师范大学学报(自然科学版)》《表面技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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不同氩气流量下溅射所得TiO_x薄膜的结构和光学性能
《天津师范大学学报(自然科学版)》2014年第2期27-30,共4页刘春伟 黄美东 杜姗 唐晓红 吕长东 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学推进计划资助项目(52X09038)
为探究不同氩气流量对TiOx薄膜结构和光学性能的影响,采用常温反应磁控溅射法,在K9双面抛光玻璃基底上制备TiOx薄膜样品,利用X线衍射分析样品的晶体结构,通过原子力显微镜观察样品表面结构,使用光栅光谱仪测试样品透射率,并计算得到薄...
关键词:氧化钛薄膜 磁控溅射 氩气流量 透射谱 折射率 
氧分压对溅射氧化钒薄膜结构和透光性能的影响被引量:3
《激光与光电子学进展》2014年第6期194-199,共6页唐晓红 黄美东 杜姗 刘春伟 高倩 王小龙 张建鹏 杨明敏 
国家自然科学基金(61078059)
采用射频磁控溅射法,在K9抛光玻璃基底上沉积氧化钒(VOx)薄膜,研究在其他参数保持不变时氧分压参量对薄膜的结构、表面质量及透光性能的影响。利用表面轮廓仪、X射线衍射仪、原子力显微镜及分光光度计分别对样品的沉积速率、物相结构、...
关键词:薄膜 氧化钒 射频磁控溅射 氧分压 
溅射功率对氧化铝薄膜结构和光学性能的影响被引量:2
《天津师范大学学报(自然科学版)》2013年第3期39-42,共4页唐晓红 黄美东 王丽格 杜姗 刘春伟 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学创新计划资助项目(52X09038)
采用射频反应磁控溅射法,在K9双面抛光玻璃基底上制备了一系列不同溅射功率的Al2O3薄膜,并对部分薄膜进行退火处理.利用X线衍射法对Al2O3薄膜退火前后的晶体结构进行分析,采用椭圆偏振光谱仪对薄膜的厚度、折射率和消光系数进行测试和拟...
关键词:氧化铝薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 光学性能 溅射功率 折射率 消光系数 
氧氩流量比对溅射氧化钒薄膜结构和光学性能的影响被引量:3
《表面技术》2013年第4期24-27,共4页杜姗 黄美东 刘春伟 唐晓红 吕长东 
国家自然科学基金(61078059);天津师范大学推进计划项目(52X09038)
采用射频反应磁控溅射方法制备氧化钒(VOx)薄膜,对样品的沉积速率、物相结构、表面形貌和可见光波段的透过率进行表征,研究了在沉积气压一定的情况下,氧氩流量比对氧化钒薄膜结构和光学性能的影响。结果表明,改变氧氩流量比可明显改变...
关键词:氧化钒薄膜 氧气流量 氩气流量 反应磁控溅射 
磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能被引量:2
《天津师范大学学报(自然科学版)》2013年第1期55-58,共4页程芳 黄美东 王丽格 杜姗 唐晓红 刘春伟 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学学术创新推进计划资助项目(52X09038)
常温下,通过反应磁控溅射法在K9双面抛光玻璃基底上制备氧化钛薄膜.采用X线衍射(X-rayDiffraction,XRD)、光栅光谱仪和椭偏仪对氧化钛薄膜样品的结构和光学性能进行测试,并拟合分析得到薄膜的折射率和厚度等光学参数.结果表明:氧化钛纳...
关键词:氧化钛薄膜 磁控溅射 透射率 折射率 光学性能 消光系数 晶体结构 
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