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检索条件："关键词=微波等离子体化学气相沉积 "
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金刚石聚晶薄膜的场发射性能对比研究
《功能材料与器件学报》2022年第3期260-264,共5页高金海 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点资助项目(205091);2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2018年河南省重点研发与推广专项(182102210564)
以覆盖金属钛的陶瓷为衬底放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出三种金刚石聚晶碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线仪分析碳膜的形貌与结构,利用二级结构研究碳膜的场发射性能,得到发射性能最佳的薄膜。深入分析了三种碳膜的成...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 球状金刚石聚晶颗粒碳膜 
氧气对MWPCVD制备金刚石膜的影响被引量：8
《真空科学与技术》2001年第4期281-284,290,共5页舒兴胜 邬钦崇 梁荣庆 
8 6 3计划资助项目 (86 3 715 0 0 2 0 0 2 0 )
在水冷反应室式微波等离子体化学气相沉积装置中以混合的CH4 H2 O2 为反应气体 ,研究了O2 浓度对制备金刚石膜的影响。实验发现 ,很低浓度的O2 会显著促进金刚石的沉积 ,并稍稍抑制非晶C的沉积 ,因而沉积膜中非晶C的含量急剧下降 ;较...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 氧气 制备 浓度 抑制作用 非晶碳 
碳纳米管场致发射中的空间电荷效应被引量：5
《发光学报》2008年第3期567-572,共6页张强 陈泽祥 朱炳金 王小菊 于涛 
教育部留学回国人员启动基金资助项目
采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法成功制备以碳纳米管束为单元的场致发射阵列,获得很好的场致发射电流发射特性,在电流密度较大时,发现I-V特性偏离由Fowler-Nordheim公式计算出的结果。采用Electron Beam Simulation(EBS)软件...
关键词：空间电荷效应 碳纳米管 场致发射 微波等离子体化学气相沉积 
含Si金刚石涂层的工艺研究被引量：1
《北京科技大学学报》2007年第4期408-412,446,共6页刘素田 刘伟 黑立富 唐伟忠 吕反修 
利用微波等离子体辅助化学气相沉积的方法,以H2、CH4和D4(八甲基环四硅氧烷)为沉积先驱物,探索了一种在硬质合金基底上制备出含Si元素的金刚石涂层的新工艺.试图利用这种新的方法,进一步提高金刚石涂层对硬质合金基底的附着力.实验结果...
关键词：金刚石涂层 微波等离子体化学气相沉积 八甲基环四硅氧烷 硬质合金 附着力 
掺硼金刚石薄膜的制备与研究被引量：2
《超硬材料工程》2019年第6期1-5,共5页闫建明 徐帅 康世豪 吴啸 常豪锋 蔡玉珺 潘红星 
采用微波等离子体化学气相沉积技术在单晶硅、钛、钼、铌、钽基体上制备掺硼金刚石薄膜。分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪、四探针电阻率测试仪研究其物相组成、表面形貌、晶体结晶性和电阻率。硼原子代替碳原子...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 掺硼金刚石薄膜 电阻率 内应力 
金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应被引量：1
《高压物理学报》2003年第2期145-149,共5页王传新 汪建华 马志斌 满卫东 王升高 康志成 
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,研究了金刚石薄膜在Si(1 0 0 )面上的负偏压形核行为 ,结果表明 ,偏压大小对金刚石的形核均匀性有显著影响 ,而甲烷浓度主要影响形核时间 ,对金刚石的最大核密度影响不大。在硅片尺寸小于钼支撑架时 ...
关键词：金刚石薄膜 负偏压形核 边缘效应 微波等离子体化学气相沉积 甲烷浓度 偏压大小 异质外延 
提高微米金刚石聚晶薄膜的场发射点密度研究
《电子器件》2021年第6期1381-1384,共4页高金海 崔颖琦 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点项目(205091);国家自然科学基金青年科学基金项目(11904326);河南省高等学校重点科研项目(16A140039);河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2017年度河南省科技计划项目(172102210115)。
利用微波等离子化学气相沉积的方法,制备出微米金刚石聚晶颗粒薄膜,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了薄膜的形貌与结构,用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能。研究了微米金刚石聚晶薄膜的产生的机理,调整制备过程中的参数来...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 微米金刚石聚晶薄膜 场发射 
调节生长环境 单晶金刚石可转变成超导态
《超硬材料工程》2024年第6期50-50,共1页无 
9月16日,记者从浙江大学获悉,该校信息与电子工程学院林时胜教授团队,利用自制的微波等离子体化学气相沉积系统,成功制备出硼氮共掺杂的块体单晶金刚石半导体,并成功通过迁移率调控,实现了金刚石的超导态和金属态,部分证实了激子超导机...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 国际学术期刊 超导态 电子工程学院 金属态 高温超导 硼氮共掺杂 
过渡层对类球状微米金刚石聚晶的场发射影响被引量：1
《液晶与显示》2010年第4期519-522,共4页张武勤 高金海 
教育部科学技术重点资助项目(No.205091)
在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属Ti层后,改用CH4为溅射气体制备一层碳化物过渡层,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱和x-射线衍射分析了薄膜的结构和表面形貌...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 类球状微米金刚石聚晶 
高等离子体功率密度下MPCVD法制备多晶金刚石膜被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第2期156-161,共6页何中文 马志斌 
通过自制的MPCVD双基片台设备,在微波功率为1400 W保持不变及中高气压,等离子体功率密度为357.5~807.4 W/cm^(3),基片温度为850±30℃,CH_(4)体积分数为1.0%~1.5%,沉积速率为1~8μm/h条件下,在直径11.5 mm的硅基片上沉积不同质量的多晶...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 等离子体功率密度 沉积速率 薄膜质量 
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