理学—固体物理

作品数：40665被引量：69607H指数：54
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相关机构：中国科学院中国科学技术大学吉林大学南京大学更多>>
发文主题：磁控溅射X性能研究光致发光光学薄膜更多>>
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空间天线用金属薄膜/有机材料结构脉冲激光刻蚀界面特性研究
《真空与低温》2024年第5期522-527,共6页王瑞 格桑顿珠 魏广 杨建平 胡汉军 尚凯文 吴敢 
真空技术与物理重点实验室基金(HTK2022KL510003);兰州市科技计划项目。
为了研究脉冲激光刻蚀过程中金属薄膜/有机材料界面的特性变化,以典型的有机材料聚酰亚胺(PolyImide,PI)为基底,通过物理气相沉积在其表面制备了1μm厚的金属Cu薄膜,分别采用短脉冲(100 ns)和超短脉冲(290 fs)激光刻蚀去除部分金属薄膜...
关键词：Cu/PI薄膜 激光刻蚀 介电性能 界面特性 
ε-Fe_(2)O_(3)/FeO界面结构与相变机理研究
《电子显微学报》2024年第5期525-531,共7页陈珊珊 靳千千 熊婷 田敏 姚婷婷 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 
国家自然科学基金资助项目(Nos.52125101,51971224);广东省基础研究重大项目(No.2021B0301030003);季华实验室项目(No.X210141TL210).
本文利用脉冲激光沉积技术在SrTiO_(3)(111)衬底上生长了ε-Fe_(2)O_(3)薄膜,并应用高分辨X射线衍射(HRXRD)、X射线光电子能谱(XPS)和透射电子显微镜(TEM)对薄膜的显微结构进行了系统表征。XRD和XPS的研究结果表明ε-Fe_(2)O_(3)(001)...
关键词：ε-Fe_(2)O_(3) ε-Fe_(2)O_(3)/FeO异质界面 显微结构 相变机制 脉冲激光沉积 
氧化铪基铁电电容的唤醒-疲劳效应与相结构演变
《电子显微学报》2024年第3期277-282,共6页辛天骄 王怡炜 高兆猛 郑赟喆 郑勇辉 成岩 
国家自然科学基金资助项目(Nos.62174054,92064003,62104071,12134003);上海市自然科学基金资助项目(No.23ZR1418000);中国科学院战略性先导科技专项(No.XDB44000000).
掺杂氧化铪(HfO_(2))铁电薄膜具有优异的尺寸微缩特性与良好的半导体工艺兼容性,其铁电电容结构兼容主流动态随机存取存储架构,是新型存储器介质材料的有力候选者。HfO_(2)基铁电电容随电学读写操作(循环)次数的增加,其代表“0”和“1...
关键词：掺杂氧化铪 铁电存储 唤醒 疲劳 失效 
微波等离子体制备类金刚石薄膜进展
《真空与低温》2024年第1期23-30,共8页李孝凯 尹善 王进平 徐清国 郭朝乾 
国家自然科学基金(52101081)。
随着对材料需求的日渐增长,在材料表面沉积性能优异的薄膜以提高材料的使用性能成为一种趋势。类金刚石薄膜具有高硬度、强的耐腐蚀性能、低摩擦因数、良好的耐磨损性等优势,在工业制造领域受到越来越多的关注。介绍了电子回旋共振等离...
关键词：类金刚石 等离子体 微波 表面波 电子回旋共振 
典型低轨辐照环境对MoS_(2)-Ti薄膜真空摩擦学性能的影响
《真空与低温》2024年第1期39-47,共9页胡汉军 贺颖 张凯锋 周晖 
采用非平衡磁控溅射方法在9Cr18基底上制备了MoS_(2)-Ti薄膜,并对4组样品分别进行了电子辐照、电子/质子辐照、电子/质子/紫外辐照、电子/质子/紫外/原子氧辐照。采用SEM、XRD、XPS分析了辐照前后薄膜的结构和化学组成变化,通过摩擦试...
关键词：MoS_(2)-Ti 摩擦学 原子氧 辐照 
同步脉冲偏压对低温制备的CrSiN薄膜结构及性能的影响研究被引量：1
《真空与低温》2024年第1期48-56,共9页贵宾华 张腾飞 刘铭 周晖 马占吉 杨拉毛草 汪科良 鲜昌卫 蒋钊 
甘肃省自然科学基金(23JRRA1353);甘肃省青年科技基金(22JR5RA786);兰州市人才创新创业项目(2022-RC-3)。
利用高功率脉冲磁控溅射技术,研究了同步脉冲偏压对低温沉积的CrSiN薄膜的组织结构、力学、摩擦学及耐腐蚀性能的影响。研究表明,随着同步脉冲偏压升高,荷能离子轰击对薄膜表面的溅射作用增强,薄膜中的轻质元素含量略有下降,同时c-CrN(1...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 同步脉冲偏压 组织结构 摩擦学性能 耐腐蚀性能 
化学气相沉积SiC涂层反应特性及沉积过程的模拟研究被引量：1
《真空与低温》2024年第1期98-104,共7页高恒蛟 曹生珠 张凯锋 丁旭 刘同 李毅 李坤 成功 熊玉卿 
装备预研重点实验室重点基金项目(ZD172301);国家自然科学基金(12305289、U1937601);基础科研项目(JCKY2020203 b019);甘肃省自然科学基金(23JRRA1363)。
借助基于有限元原理的COMSOL软件和分子动力学模拟原理的Reax FF软件对化学气相沉积技术制备SiC涂层的反应特性及沉积过程进行模拟研究,为高温抗氧化复合涂层体系中SiC中间层的工艺优化及制备提供理论支持。结果表明,化学气相沉积SiC涂...
关键词：CVD SIC涂层 反应特性 生长过程 入射能量 
双层异质晶体结构的电子磁手性二向色性谱解析被引量：1
《电子显微学报》2023年第6期689-696,共8页符潇潇 胡绮雯 吴楷 刘广 李建军 黄晓旭 
国家重点研发计划(No.2021YFB3702101);国家自然科学基金资助项目(No.51701031);重庆市研究生科研创新项目(CYB23038).
电子磁手性二向色性(EMCD)是一种元素分辨的高分辨磁矩测量技术。目前针对单晶EMCD信号的解析已经发展出一套常规的方法,但对电子束先后与不同晶体作用时的EMCD信号还缺乏理解,本文针对后者进行深入探讨。基于上下晶体重叠的模型,讨论...
关键词：EMCD 二次衍射 多重散射 解卷积 
柔性AZO/NiCr/Ag/NiCr/AZO透明导电玻璃结构对性能的影响
《表面技术》2023年第12期449-455,共7页姚婷婷 王天齐 王伟 汪冰洁 李刚 甘治平 
安徽省重点研究与开发计划项目(202004b11020020);上海市“科技创新行动计划“启明星项目(22QB1406600)。
目的室温制备柔性透明导电玻璃并提高其光电性能。方法采用直流磁控溅射法,以柔性玻璃为基底,在室温下沉积(Aluminum-doped ZnO,AZO)/NiCr/Ag/NiCr/AZO多层结构透明导电玻璃。通过探针轮廓仪测试、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)...
关键词：柔性 透明导电玻璃 AZO/NiCr/Ag/NiCr/AZO Ag厚度 透光率 品质因子 
等离子体技术制备高阻隔薄膜作用方式和应用现状(二)
《真空与低温》2023年第5期425-438,共14页刘忠伟 杨丽珍 桑利军 王正铎 张海宝 程久珊 刘博文 陈强 
国家自然科学基金(12075032);北京市自然科学基金(8222055、2232061);云南省刑事科学技术重点实验室开放课题(YJKF002);北京印刷学院项目(Ec202207、S202210015021)。
近年来,在食品和药品包装、可穿戴有机电子封装、有机发光二极管(OLED)和量子点封装、真空绝缘板密封、生物医学和可再生能源防护等方面,以柔性塑料为基体的阻湿、阻氧、高透明的薄膜得到了广泛的应用,促进了阻隔膜制备技术的发展。等...
关键词：等离子体 特性和诊断 阻隔膜 结构表征和性能测量 柔性聚合物 
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