国家自然科学基金(51275046)

作品数：7被引量：9H指数：2
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硅微球轴承关键工艺
《吉林大学学报（工学版）》2016年第3期824-830,共7页王犇 王晓力 
国家自然科学基金项目(51275046)
首先,对微球轴承的滚道结构、滚动体数目和轴承腔通气孔进行了设计。其次,采用环形刻蚀(Halo etch)技术实现了叶片层上多特征尺寸结构的加工,提高了刻蚀速率的一致性和图形精度,为降低转子不平衡量、提高微球轴承的高速运转稳定性提供...
关键词：机械制造工艺与设备 微机电系统 微球轴承 环形刻蚀 遮罩 
涂覆DLC薄膜的微球轴承接触特性研究被引量：1
《润滑与密封》2015年第10期1-6,35,共7页王犇 王晓力 王振波 
国家自然科学基金项目(51275046)
对涂覆DLC薄膜的MEMS球轴承的接触性能进行理论研究。根据微球轴承的接触型式,建立微球与表面涂覆DLC薄膜的滚道之间的有限元模型,考察不同DLC薄膜弹性模量和厚度,以及不同微球材料和直径对微球轴承接触特性的影响。结果表明,高弹性模...
关键词：MEMS 微球轴承 DLC薄膜 接触力学 
硅微球轴承接触问题的有限元分析
《制造技术与机床》2015年第4期56-60,共5页王振波 王晓力 王犇 
国家自然科学基金项目(51275046);高等学校博士学科点专项科研基金(20121101110015)
利用有限元分析软件Abaqus建立了硅微球轴承的有限元模型,采用有限单元法(FEM)对微球与硅滚道的接触问题进行数值求解。考察了微球的不同尺寸和材料对硅微球轴承滚道接触应力的影响。结果表明:随着微球尺寸的增大,滚道表面最大接触压力...
关键词：硅微球轴承 有限元 接触力学 MEMS 
织构化硅片表面的粘着行为
《中国表面工程》2015年第1期83-89,共7页刘舒鹏 王晓力 司丽娜 张玉言 
国家自然科学基金(51275046);清华大学摩擦学国家重点实验室基金(SKLTKF12A03)
为研究织构化表面的粘着行为,采用电感耦合等离子体刻蚀技术在硅片表面进行柱状织构的构筑。使用扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）对织构化硅片表面的形貌进行观测,利用原子力显微镜进行粘着试验,并考察织构对表面粘着性能...
关键词：硅片 表面织构 粘着 
考虑剪切速率及温度影响的气油两相流本构方程被引量：4
《机械工程学报》2015年第2期178-182,共5页杨华蕊 王晓力 杜晋芳 
国家自然科学基金(51275046);高等学校博士学科点专项科研基金(20121101110015);北京市自然科学基金(3102025)资助项目
针对目前关于气油两相流本构方程的研究仅限于极低剪切速率范围,且均没有考虑温度影响的现状,构建气油两相流的制备装置,提出基于图像分析的气油两相流含气率的测定方法,通过Physica MCR 101旋转式流变仪测试不同温度及含气率下较宽剪...
关键词：气油两相流 流变特性 高剪切速率 黏度模型 本构方程 
纳米沟槽表面黏着接触过程的分子动力学模拟研究被引量：1
《物理学报》2014年第23期189-196,共8页司丽娜 王晓力 
国家自然科学基金(批准号:51275046;51305029);中国博士后基金(批准号:2012M520005;2013T60066)资助的课题~~
采用大规模分子动力学方法研究了刚性球型探头与具有不同纳米沟槽基体表面的黏着接触过程,探讨了表面沟槽结构对载荷-位移曲线、接触引力和拉离力以及材料转移的影响规律.研究结果表明:在相同的压入深度下,与原子级光滑表面的黏着接触...
关键词：黏着接触 分子动力学模拟 纳米沟槽结构 拉离力 
非稳态弹流润滑状态下滚动体-滚道摩擦副的动力特性研究被引量：3
《摩擦学学报》2012年第6期626-633,共8页张玉言 王晓力 闫晓亮 
国家自然科学基金(51275046);北京自然科学基金(3102025)资助~~
针对滚动体-滚道摩擦副,建立了点接触非稳态弹流润滑数学模型,利用FFT技术和半解析算法数值求解了接触体在自由振动过程中油膜压力和膜厚的变化,同时结合有阻尼系统的自由振动模型,给出了预测点接触摩擦副动力特性的方法,在较宽的载荷...
关键词：滚动体-滚道摩擦副 非稳态弹流润滑 刚度 阻尼 
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