国家自然科学基金(60276001)

作品数：6被引量：21H指数：3
导出分析报告
相关作者：杨保和孙大智吴小国陈希明徐晟更多>>
相关机构：天津理工大学更多>>
相关期刊：《天津理工大学学报》《光电子．激光》更多>>
相关主题：金刚石声表面波SAW器件SAW多层膜结构更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学化学工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
金刚石/硅复合膜的导热特性研究被引量：6
《光电子．激光》2007年第8期963-965,共3页吴小国 熊瑛 杨保和 李翠平 孙大智 李晓伟 
国家自然科学基金资助项目(60276001);天津市发展计划项目(05YFJZJC00400);天津市自然基金(YFJMJC05300);天津市高等学校科技发展基金项目(20050519)
用金刚石粉,用不同时间在两片镜面抛光的(111)硅基片上分别打磨。两片硅基片打磨后都仍保持镜面特征。采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷和氧气为前驱气体,在同样参数条件下,在基片上制备了直径5cm的金刚石薄膜。用扫描...
关键词：金刚石 薄膜 热导率 
H_2-O_2混合气氛刻蚀制备金刚石纳米晶薄膜被引量：3
《光电子．激光》2006年第7期794-797,共4页熊瑛 杨保和 吴小国 孙大智 李明 洪松 
国家自然科学基金资助项目(60276001);天津市自然科学基金重点资助项目(05YFJZJC00400);天津市自然科学基金资助项目(023601711;05YFJMJC05300);天津市高等学校科技发展基金资助项目(20020621)
提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5 cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形...
关键词：纳米金刚石(NCD)薄膜 微波等离子体化学气相沉积(CVD) O2 刻蚀机理 
用于SAW器件的C轴择优取向LiNbO_3薄膜的制备及结构研究被引量：2
《光电子．激光》2006年第3期261-264,共4页杨保和 陈希明 赵捷 杨晓苹 徐晟 李明 
国家自然科学基金项目(60276001)资助;天津自然科学基金项目(023601711)资助;天津市教委基金项目(20030521;2004zd02)资助
采用射频（RF）磁控溅射法在金刚石（111）衬底上沉积LiNbO3（LN）薄膜，借助X射线衍射技术（XRD），研究了外加偏压（0～80V）和衬底温度（200～500℃）等工艺参数对LiNbO3薄膜结构和取向性的影响。实验结果表明，在衬底温度为200℃、...
关键词：声表面波(SAW) LiNbO3薄膜 金刚石 射频磁控溅射 择优取向 
金刚石声表面波器件的研制被引量：1
《天津理工大学学报》2006年第1期6-8,共3页徐晟 陈希明 杨晓苹 杨保和 
国家自然科学重点基金(60276001);天津市自然科学基金(033700611);天津市高等学校科技发展基金(20030521)
对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光S i基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅...
关键词：声表面波 多层膜结构 金刚石薄膜 氧化锌乐电薄膜 
测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法被引量：3
《光电子．激光》2005年第4期466-469,共4页陈希明 马靖 徐晟 吴小国 孙大智 杨保和 
国家自然科学基金(60276001);天津自然科学基金资助项目(023601711;033700611)
提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法。该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0.01μm。若采用...
关键词：多层膜结构 薄膜厚度 相对介电常数 电极直径 测量精度 平行板电容 非接触测量 平面度测量 线性拟合 输出电压 测量电压 测量方法 膜厚测量 多层结构 传感头 空气隙 膜材料 成本低 
适用SAW器件的高C轴取向ZnO薄膜制备及性能分析被引量：8
《光电子．激光》2005年第1期28-31,共4页王芳 杨保和 
国家自然科学基金重点资助项目(60276001);天津市自然科学基金资助项目(023601711)
探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析。研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取向性更优;同时O空位的填充、自由Zn原子的氧化使得薄膜电阻...
关键词：ZNO薄膜 SAW器件 C轴取向 薄膜电阻 声表面波(SAW) 性能分析 原子力显微镜(AFM) 平坦 上升 空位 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部