SAW器件

作品数：61被引量：53H指数：4
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压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法
《压电与声光》2024年第4期447-452,457,共7页王吉芳 陈平静 曹稚颖 潘虹芝 董加和 肖强 吴浩东 陈正林 马晋毅 
针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,...
关键词：压电复合薄膜 SAW器件 杂波抑制 分层级联 2D-COM模型 
射频SAW器件非线性信号的测量及产生机制分析
《压电与声光》2022年第5期682-686,共5页李百川 罗阳 傅肃磊 王为标 张巧珍 
国家自然科学基金青年基金资助项目(11904233)。
射频前端的高度集成和高能量密度使声表面波(SAW)器件的非线性问题愈发严重。该文搭建了射频SAW器件非线性信号的测量系统,对SAW谐振器的二次谐波(H2)和三次谐波(H3)信号进行了准确测量。分析测量结果,讨论了非线性谐波信号的产生机制,...
关键词：声表面波(SAW)器件 非线性 测量系统 谐波信号 产生机制 
高频延迟线型SAW器件仿真与设计
《科技创新导报》2022年第14期48-53,183,共7页沈斌 姜雷鸣 杨海洋 刘新蕾 
国家自然科学基金(项目编号:52074111);黑龙江省自然科学基金(项目编号:YQ2020E034);黑龙江省普通高等学校基本科研业务费项目(项目编号2:2020-KYYWF-0693)。
为分析电极高度比与孔径深度等工艺参数对声表面波器件性能的影响,利用有限元软件COMSOL,建立压电基片表面沉积均匀叉指换能器的二维模型,分析了电极高度比对声表面波器件特征频率的影响。通过建立不同孔径深度均匀叉指换能器的三维模型...
关键词：特征频率 电极高度比 孔径 振幅 
基于有限元分层级联技术SAW滤波器精确计算被引量：5
《压电与声光》2022年第2期234-237,241,共5页陈正林 赵雪梅 贺艺 潘虹芝 白涛 杜雪松 李桦林 肖强 陈彦光 马晋毅 
针对任意复杂结构声表面波(SAW)器件精确快速分析及其内部多物理场耦合效应的精确表征问题,该文在充分考虑SAW器件实际存在的各种影响因素下,采用有限元分层级联算法推导出有限长结构SAW器件的有限元数学模型。基于全波仿真技术,考虑管...
关键词：SAW器件 精确表征 分层级联技术(HCT) 全波仿真 
跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究被引量：2
《传感器与微系统》2022年第3期32-35,共4页李志鹏 孟旭 王博男 张超 
国家自然科学基金面上资助项目(52175497);中央高校基本科研业务费专项资金项目(2572019CP04,2572018AB29)。
利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变...
关键词：声表面波 复合膜结构 叉指换能器 跨层布局 COMSOL软件 
多层SAW器件叉指换能器错层布局研究
《传感器与微系统》2022年第2期14-16,20,共4页李志鹏 孟旭 王博男 张超 
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2572019CP04,2572018AB29)。
利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分...
关键词：声表面波 多层结构 叉指换能器 错层布局 
基于ZnO/Al_(2)O_(3)缓冲层制备耐高温SAW器件电极
《压电与声光》2021年第3期365-369,共5页李海鸥 刘晶晶 彭斌 王博文 刘兴鹏 郭磊 
广西科技基地与人才专项基金资助项目(No.AD19245066);电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助项目(KFJJ201906);中国科学院纳米器件与应用重点实验室开放课题基金资助项目(20YZ02)。
为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的...
关键词：高温 缓冲层 电极稳定性 声表面波器件 压电衬底 
基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展被引量：4
《压电与声光》2020年第6期864-870,874,共8页何杰 马晋毅 胡少勤 许昕 
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/...
关键词：绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI) 声表面波(SAW)器件 5G无线通信 射频前端 键合剥离 
基于SAW器件的微间隙压力监测传感器被引量：5
《传感技术学报》2017年第5期660-666,共7页王俊 李媛媛 卢文科 
上海工程技术大学研究生科研创新项目(E3-0903-16-01182);16KY0212柔性阵列式声表面波微力传感器的研究项目;国家自然科学基金项目(61274078);多尺度声表面波式指条面积加权的小波变换处理器及小波反变换处理器的研究项目;中国纺织工业联合会的"纺织之光"应用基础研究项目(J201608);用声表面波器件实现纱线张力传感器的研究项目
声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)器件能进行无源无线通信,为微间隙等特殊环境下物理量的测量提供了新的解决思路。研究设计了一种基于声表面波延迟线的接触应力传感器。围绕微间隙环境,研究了声表面波器件的结构类型,并确定压力监...
关键词：声表面波 无源无线 微间隙 有限元分析 应力仿真 
基于ZnO/PI结构的柔性SAW器件有限元仿真研究被引量：1
《压电与声光》2016年第4期535-538,共4页赵欣茹 金浩 王德苗 
国家自然科学基金资助项目(61204124);中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(2014QNA5002)
柔性电子的发展使微机电系统对柔韧性和延展性的需求日益增加,我们提出了一种基于ZnO和聚酰亚胺叠层结构的声表面波(SAW)器件。该文采用COMSOL软件对该结构的SAW器件进行二维有限元仿真分析,得到了器件阻抗随频率变化的特性,以及直观的...
关键词：柔性衬底 声表面波器件 有限元法 聚酰亚胺 ZnO厚度 
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