国家自然科学基金(59702005)

作品数：9被引量：26H指数：2
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相关作者：王燕岳瑞峰廖显伯孔光临刁宏伟更多>>
相关机构：清华大学中国科学院复旦大学南京电子器件研究所更多>>
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低碳含量a-Si_(1-x)C_x∶H薄膜的化学键结构被引量：1
《Journal of Semiconductors》2001年第5期599-603,共5页王燕 岳瑞峰 韩和相 廖显伯 王永谦 刁宏伟 孔光临 
国家自然科学基金青年基金资助项目! (批准号为 5 970 2 0 0 5 )&&
利用两种不同激发波长进行 Ram an测量 ,研究了低碳含量 a- Si1 - x Cx∶ H (～ <2 0 at.% )薄膜的结构特征 .采用 6 47.1nm激发时 ,由于激发光能量接近于各样品的光学带隙 ,因而在样品中具有较大的穿透深度 ;而采用488nm激发时 ,激发...
关键词：Raman测量 化学键结构 a-Si-C:H薄膜 
纳米晶粒Ag-TCNQ络合物薄膜的制备及电双稳特性被引量：14
《真空科学与技术》2001年第2期91-94,98,共5页叶钢锋 严学俭 潘钢 张群 章壮健 华中一 
国家自然科学基金青年基金资助项目! (5 970 2 0 0 5 )
以物理气相沉积方法将TCNQ和Ag制备的金属有机络合物薄膜 ,在一定的工艺条件下可做到构成薄膜的晶粒直径为 40nm左右 ,粗糙度也为纳米量级。同时在大气及室温条件下 ,在STM电场的作用下薄膜可从高阻态转换为低阻态 ,作用点的直径约为 7...
关键词：金属-有机络合物 银 TCNQ 纳米晶粒 薄膜 电双稳特性 制备 物理气相沉积 
低碳含量a-Si_(1-x)C_x∶H薄膜的Raman和荧光特性
《真空科学与技术》2001年第2期120-124,共5页王燕 岳瑞峰 
国家自然科学基金青年基金资助项目! (5 970 2 0 0 5 )
采用Raman和荧光测量研究了低碳含量a Si1-xCx∶H(x≤ 2 0 % (原子比 ) )薄膜的结构特征 ,并选用两种不同波长的激光来激发这些材料。采用 6 47.1nm光激发时 ,由于激发光能量接近于各样品的光学带隙 ,因而在样品中具有较大的透射深度 ,...
关键词：碳化硅薄膜 RAMAN谱 荧光测量 结构 荧光光谱 
a-SiN_x∶H薄膜的导电机制被引量：1
《真空科学与技术》2001年第1期26-29,共4页王燕 岳瑞峰 
国家自然科学基金青年基金资助项目! (5 970 2 0 0 5 )
研究了a SiNx∶H薄膜的电导激活能与氮含量的关系。结果表明 ,随氮含量增加 ,样品表现出两种并行的电导机制 :欧姆机制与Poole Frenkel机制。采用两种电导机制拟合电流随温度变化曲线后得到了不同氮含量样品的电导激活能。由于氮在非晶...
关键词：氮化硅薄膜 电导激活能 Poole-Frenkel机制 导电 
高温退火前后低碳含量a-SiC_x∶H薄膜结构和荧光特性的研究被引量：3
《真空科学与技术》2001年第1期38-42,共5页王燕 岳瑞峰 
国家自然科学基金青年基金资助项目! (5 970 2 0 0 5 )
采用Raman光谱 ,结合光致发光和X射线衍射测量对富硅a SiCx∶H薄膜的结构及荧光特性进行了详细研究。结果表明 ,刚制备的样品中由于硅和碳原子的电负性和原子尺寸的差异 ,出现了化学集团效应 ,即样品基本保持了a Si∶H中的网络结构 ,只...
关键词：微结构 退火 光致发光 荧光特性 光电子器件 材料 氮化硅薄膜 
a-SiN_x∶H薄膜的室温光致发光被引量：2
《真空科学与技术》2000年第6期390-393,共4页岳瑞峰 王燕 李国华 廖显伯 王永谦 刁宏伟 孔光临 
国家自然科学基金青年基金!资助项目 (5 970 2 0 0 5 )
研究了a SiNx∶H薄膜中不同氮含量样品的室温光致发光。当x≥ 0 .5时 ,在室温下观察到了较强的室温荧光 ,而且随氮含量增加 ,发光峰能量与强度不断增加。首次发现在富硅 (x≤ 1.3)样品中存在两种荧光机制 ,其临界值位于x =0 .8。当x≤ 0...
关键词：a-SiNx∶H薄膜 渗流理论 量子限制 室温光致发光 
非晶氮化硅薄膜退火前后微结构的XPS研究被引量：2
《真空科学与技术》2000年第6期425-429,共5页岳瑞峰 王燕 廖显伯 王永谦 刁宏伟 孔光临 
国家自然科学基金青年基金资助项目(59702005)
用X射线光电子谱研究了由等离子体增强化学气相沉积方法制备的富硅a SiNx∶H(x≤ 0 .80 )薄膜的结构。实验中选取两类典型样品 ,x分别为 0 2 8和 0 80。对Si 2 p峰用两个高斯峰来拟合 ,结果表明样品中确实存在分凝现象 ,是由a Si原子...
关键词：X射线光电子谱 a-SiNx∶H薄膜 分凝 
彩色PDP喷砂工艺的障壁层清除速率和工艺稳定性研究被引量：3
《真空科学与技术》2000年第6期454-456,共3页刘忠安 
国家自然科学基金青年基金!资助项目 (5 970 2 0 0 5 )
提出了彩色PDP喷砂工艺障壁层清除速率的测量公式和减小测量误差的方法 ,讨论了影响清除速率的相关参数及用清除速率定量控制喷砂工艺的条件。指出高耐磨并采用特殊设计的喷头是提高喷砂工艺稳定性和可控性的关键 ,小孔径圆柱状喷头不...
关键词：障壁层清除速率 喷砂工艺 彩色等离子体显示器 
a-SiN_x∶H薄膜退火前后微结构的Raman谱研究
《真空科学与技术》2000年第4期238-242,共5页岳瑞峰 王燕 韩和相 廖显伯 
国家自然科学基金青年基金资助项目! ( 5970 2 0 0 5)
采用微区Raman谱 ,并结合红外透射测量研究了等离子体增强化学气相沉积方法制备的不同氮含量的a SiNx∶H样品退火前后TO模及TA模与样品微结构的关系。结果表明 ,氮的引入主要影响了第二近邻以外的中等程序的有序度 ,因而随N含量增加 ,T...
关键词：RAMAN光谱 振动模式 a-SiHx:H薄膜 退火 微结构 
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