中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0403044)

作品数：13被引量：45H指数：4
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相关作者：刘恒王超吴嘉丽陈光焱苏伟更多>>
相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所重庆大学南京信息工程大学更多>>
相关期刊：《上海交通大学学报》《传感技术学报》《光学精密工程》《控制理论与应用》更多>>
相关主题：惯性开关G值微机电系统微加速度计MEMS更多>>
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基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关的研制被引量：1
《上海交通大学学报》2013年第4期679-686,共8页王超 陈光焱 吴嘉丽 
国家自然科学基金;中国工程物理研究院联合基金资助(11076024);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
以弹性材料单晶硅为结构材料,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1 g～30 g)微惯性开关.根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论,推导得到了惯性开关闭合阈值的计算公式,其计数结果与ANSYS有限元分析结果的相对误差小于3%.为提高低g...
关键词：低g值微惯性开关 平面矩形螺旋梁 卡氏定理 双埋层SOI 微机电系统 
低g值微惯性开关防粘连结构的设计与制作
《微纳电子技术》2012年第6期396-400,共5页王超 吴嘉丽 张莉 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置。为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构。该结构尺寸约为135μm×135μm×20μm,采用玻璃无掩膜湿法腐蚀...
关键词：低g值微惯性开关 防粘连 梯形凸台 玻璃无掩膜湿法腐蚀 微机电系统(MEMS) 
应用双埋层SOI工艺制备低g值微惯性开关被引量：7
《光学精密工程》2012年第5期1076-1083,共8页王超 吴嘉丽 陈光焱 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(No.11076024);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(No.2009B0403044)
采用双埋层SOI(Silicon-On-Insulator)材料,结合KOH腐蚀工艺、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺、阳极键合以及喷雾式涂胶工艺,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关。利用二氧化硅KOH腐蚀/ICP刻蚀自停止的特点,平面矩形螺旋梁...
关键词：低g值微惯性开关 双埋层SOI 等电位 防粘连 硅衬片 
一种微机械谐振式加速度计的自激驱动控制被引量：2
《仪表技术与传感器》2012年第4期107-110,共4页刘恒 孟瑞丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0403044)
为了研制谐振微机械加速度计,文中介绍了静电刚度的谐振式微加速度计的工作原理,并根据闭环控制要求,建立了基于自激原理的系统分析方程,利用平均周期法分析了系统稳定性和振动幅度稳态平衡点。理论分析确定了系统起振条件和相位偏差对...
关键词：微加速度计 谐振 自激 平均周期法 
低g值微惯性开关单向敏感性设计与分析被引量：1
《中国惯性技术学报》2012年第1期79-83,共5页王超 陈光焱 吴嘉丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0403044)
选用典型的"弹簧-质量"系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性开关的单向敏感性进行了静力学仿真分析。分析结果表明,横向加速度对惯性开关闭合阈值的影响较小。采用...
关键词：单向敏感性 平面矩形螺旋梁 低g值微惯性开关 微机电系统 
静电刚度谐振式微加速度计及其接口电路分析被引量：4
《传感技术学报》2011年第11期1556-1560,共5页刘恒 刘清惓 孟瑞丽 
中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2009B0403044);公益性行业(气象)科研专项(GYHY200906037);国家自然科学基金项目(41075026)
根据静电加载在平板电容器上产生等效静电负刚度原理,分析了基于静电刚度的谐振式微加速度计的敏感过程。针对有效信号检测中存在的同频干扰问题,建立了接口电路的等效模型,并根据干扰源提出在信号处理电路采用方波调制、开关解调的抑...
关键词：MEMS 微加速度计 同频干扰 接口电路 调制 
基于小波分解和BP网络模拟电路故障诊断研究被引量：6
《现代电子技术》2011年第19期171-175,共5页徐昕 傅煊 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0403044)
为了高效、准确地对模拟电路故障进行诊断,采用了一种基于小波多层分解和BP神经网络相结合的模拟电路故障诊断方法。该法利用了多层小波分解优异的时频特性来提取故障特征参数,结合了BP网络强大的非线性分类能力和快速的收敛特性。将该...
关键词：小波分解 BP网络 软故障 特征提取 带阻滤波器 
静电刚度式谐振微加速度计闭环驱动控制被引量：1
《控制理论与应用》2011年第10期1405-1412,共8页刘恒 何晓平 张凤田 苏伟 张富堂 
国防预研项目资助项目(51305040201);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
分析了谐振微加速度计闭环驱动控制的要求,并根据要求建立了幅度和频率自适应控制的双闭环驱动分析模型.鉴于系统的高阶非线性,采用近似平均法分析了系统的稳态平衡点和稳定条件.对基于锁相技术的频率跟踪环,得到了环路频率稳定跟踪的...
关键词：加速度计 谐振 恒幅 频率跟踪 平均法 
微机械振动陀螺闭环自激驱动理论分析及验证被引量：6
《重庆大学学报（自然科学版）》2011年第10期136-141,共6页刘恒 刘显学 张凤田 苏伟 张富堂 
国家自然科学基金资助项目(41075026);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
根据微机械振动陀螺驱动控制的要求,对基于自动增益控制的自激驱动陀螺系统进行了理论分析,在系统存在相位不平衡时,利用近似平均法得到了结构的起振条件及稳态幅度表达式。理论分析和实验测试表明:参考电压须大于某一临界值结构才能起...
关键词：陀螺 自激振荡 平均法 自动增益 相位偏差 
静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造被引量：2
《重庆大学学报（自然科学版）》2011年第8期36-42,共7页刘恒 张凤田 何晓平 苏伟 张富堂 
国防预研资助项目(51305040201);中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2009B0403044)
基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度,减少了灵敏度对结构工艺误差的依赖性。根据单梁谐振加速度计的动力学原理,确定了输出频率与各活动结构位移的非线性关系。对于输出频率与加速度的复杂非线性求解问题,提出...
关键词：微加速度计 静电刚度 模态分析 灵敏度 
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