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国家自然科学基金(51171197): 作品数：12被引量：55H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：肖金泉赵彦辉于宝海宫骏孙超更多>>; 相关机构：中国科学院金属研究所温州职业技术学院天津职业技术师范大学深圳职业技术学院更多>>; 相关期刊：《材料研究学报》《真空科学与技术学报》《真空与低温》《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》更多>>; 相关主题：电弧离子镀轴向磁场横向磁场磁控溅射TIN薄膜更多>>; 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>

沉积工艺参数对电弧离子镀薄膜沉积速率影响的研究进展被引量：10: 《真空与低温》2020年第5期385-391,共7页赵彦辉史文博刘忠海赵升升王铁钢于宝海; 国家自然科学基金(51875555、51171197)。; 阴极电弧离子镀技术作为工业应用最多的真空镀膜技术之一,近年来得到了长足发展。但是仍存在一些技术问题尚未完全解决,如大颗粒污染、所沉积的薄膜残余应力大、不能实现低温沉积等。另一方面,电弧离子镀的沉积效率仍有待提高,尽管与同...; 关键词：电弧离子镀沉积速率磁场辅助阳极

低温低压电弧等离子体渗氮处理316不锈钢的耐腐蚀性能被引量：5: 《材料研究学报》2017年第2期81-87,共7页杨文进赵彦辉沈明礼刘占奇肖金泉宫骏于宝海孙超; 国家自然科学基金(51171197)~~; 在低温下对316奥氏体不锈钢进行低压电弧等离子体渗氮处理,研究了渗氮处理对不锈钢耐腐蚀性能的影响。结果表明:渗氮层有两个子层,由纳米晶扩张奥氏体和少量的Cr N化合物组成的外表层和单一结构的扩张奥氏体内层。由于低压电弧等离子体...; 关键词：材料失效与保护低压电弧等离子体渗氮纳米晶扩张奥氏体渗氮速率耐腐蚀性能

Effect of Axial Magnetic Field on the Microstructure, Hardness and Wear Resistance of TiN Films Deposited by Arc Ion Plating被引量：4: 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》2015年第8期984-993,共10页Yan-Hui Zhao Wen-Jin Yang Chao-Qian Guo Yu-Qiu Chen Bao-Hai Yu Jin-Quan Xiao; financially supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 51171197); TiN films were deposited on stainless steel substrates by arc ion plating. The influence of an axial magnetic field was examined with regard to the microstructure, chemical elemental composition, mechanical properties...; 关键词：Magnetic field Arc ion plating TiN films Hardness Wear resistance

轴向磁场对电弧离子镀CrN薄膜显微组织及耐腐蚀性能的影响被引量：1: 《中国有色金属学报》2015年第8期2190-2195,共6页赵彦辉李天书于宝海肖金泉林国强; 国家自然科学基金资助项目(51171197);大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室开放课题资助项目(LABKF1405); 采用磁场增强电弧离子镀技术,通过改变位于靶材后方的轴向磁场强度,在2024Al合金表面沉积CrN薄膜,研究磁场强度对薄膜显微组织、显微硬度及耐腐蚀性能的影响。结果表明:随着磁场强度的增加,CrN薄膜结构由Cr2N与CrN的混合相逐渐转变为Cr...; 关键词：CRN薄膜磁场电弧离子镀显微组织耐腐蚀性

磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用被引量：5: 《中国表面工程》2015年第2期27-44,共18页雷浩肖金泉郎文昌张小波宫骏孙超; 国家自然科学基金(51171197);辽宁省自然科学基金(2013020132); 针对磁控溅射和阴极弧离子镀沉积技术存在的局限性,采用有限元分析方法(Finite element method,FEM)进行磁场模拟,优化设计外加电磁线圈的结构和磁场分布位形,并应用于磁控溅射沉积透明导电氧化物和阴极弧离子镀沉积硬质薄膜中。分析了...; 关键词：外加电磁线圈磁控溅射阴极弧离子镀旋转磁场弧源设计

旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响被引量：3: 《真空科学与技术学报》2015年第3期316-322,共7页郎文昌赵彦辉肖金泉宫骏孙超于宝海闻立时; 国家自然科学基金项目(No.51171197); 研究了旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律，采用有限元分析软件FEMM对旋转横向磁场的分布进行了模拟，考察了不同频率（80～210Hz）及电磁线圈励磁电流对弧斑运动的影响。从电弧斑点放电的物理机制出发，探讨了不同频率和磁...; 关键词：旋转横向磁场电弧离子镀有限元分析阴极弧斑运动

轴向磁场对电弧离子镀TiN薄膜组织结构及力学性能的影响被引量：4: 《中国表面工程》2015年第1期56-61,共6页赵彦辉郭朝乾杨文进陈育秋肖金泉于宝海; 国家自然科学基金(51171197); 为了研究轴向磁场对薄膜结构及力学性能的影响规律,采用电弧离子镀方法在高速钢基体上沉积了TiN薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、轮廓仪和纳米压痕仪考察了外加轴向磁场对薄膜化学成分、组织结构、硬度及弹性模量的影...; 关键词：电弧离子镀轴向磁场 TIN 硬度

Mechanical,Microstructural and Tribological Properties of Reactive Magnetron Sputtered Cr-Mo-N Films被引量：13: 《Journal of Materials Science & Technology》2015年第1期55-64,共10页Dongli Qi Hao Lei Tiegang Wang Zhiliang Pei Jun Gong Chao Sun; supported by the National Key Basic Research Program of China (973 Program, No. 2012CB625100);the National Natural Science Foundation of China (NSFC, No. 51171197);the Natural Science Foundation of Liaoning Province of China (No. 2013020093); The Cr-Mo-N films were deposited on high speed steel（HSS） substrates by a DC reactive magnetron sputtering equipment coupled with two horizontal magnetron sources.The effects of substrate negative bias voltage（Vb）...; 关键词：Cr-Mo-N films DC magnetron sputtering Hardness CRI

轴向磁场强度对真空电弧离子镀TiN薄膜的影响: 《南昌大学学报（理科版）》2014年第5期458-462,共5页徐焱良王向红赵彦辉高斌肖金泉于宝海; 国家自然科学基金资助项目(51171197);浙江省科技计划基金资助项目(2012C21099);浙江省自然科学基金资助项目(LQ12E01003); 采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积了TiN薄膜,考察了弧靶与基体之间等离子通道上的轴向磁场强度(0-300高斯)对薄膜表面形貌、组织结构、硬度及弹性模量的影响。结果表明,随着轴向磁场的不断增强,等离子体密度及能量密度不断增大,阴...; 关键词：电弧离子镀轴向磁场 TIN薄膜硬度

管状构件内表面真空镀膜方法研究进展被引量：7: 《表面技术》2014年第2期118-125,149,共9页赵彦辉贾莹于宝海肖金泉; 国家自然科学基金资助项目(51171197)~~; 综述了国内外真空镀膜方法,包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对管状构件内表面镀膜的研究进展,介绍了热化学气相沉积及各种等离子体(包括直流、射频及电子自旋共振等离子体)增强化学气相沉积方法在管状构件内表面镀膜方面的应用,分...; 关键词：管状构件内表面物理气相沉积化学气相沉积

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