云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(90923040)

国家自然科学基金(90923040): 作品数：10被引量：21H指数：4; 导出分析报告; 相关作者：丁玉成邵金友田洪淼李祥明魏正英更多>>; 相关机构：西安交通大学北京化工大学青岛理工大学更多>>; 相关期刊：《微纳电子技术》《机械工程学报》《稀有金属材料与工程》《制造技术与机床》更多>>; 相关主题：纳米压印电场诱导纳米模塑技术电驱动更多>>; 相关领域：一般工业技术电子电信机械工程化学工程更多>>

十二烷基硫酸钠插层水滑石-蒙脱石的制备与表征（英文）被引量：4: 《稀有金属材料与工程》2016年第S1期16-19,共4页李佳王海霞王向东郭俊青蒲敏; National Natural Science Foundation of China(21173019,90923040); 十二烷基硫酸根插层水滑石-蒙脱石(DDS-LDH-MMT)是一种新型复合层状材料。本实验采用自组装法制备DDS-LDH-MMT,首先采用离子交换法制备出十二烷基硫酸根阴离子插层水滑石(DDS-MMT),然后,用超声法分别将DDS-MMT和钠蒙脱石(Na-MMT)进行剥...; 关键词：水滑石蒙脱石自组装复合层状材料

电毛细力驱动纳米光刻成型技术原理分析: 《制造技术与机床》2014年第6期29-35,共7页刘京昀李长河; 国家自然科学基金重点项目"电毛细力驱动的纳米结构压印成形及其流变和界面行为研究"(90923040); 假设纳米光刻在理想条件下进行,无图形模板在电场中对聚合物进行流体动力学分析。通过控制变量法可得出电毛细力在宏观条件下的表现与光刻过程中产生电毛细力模板的各项参数有关,包括施加电压、聚合物相对介电常数、模板与聚合物之间的...; 关键词：电湿润电毛细力纳米压印

电润湿纳米压印光刻胶的制备及其特性研究被引量：1: 《信息记录材料》2014年第3期3-9,共7页黄春江常刚刘力行曹瑞军孟令杰; 国家自然科学基金(No.90923040);教育部新世纪优秀人才计划(No.NCET-13-0453);中央高校基本科研业务费(No.DWHXC101000074)的资助; 实现对微纳米模板的充分填充是传统纳米压印胶的一个重要难题。本文设计和制备了一种类离子液体的丙烯酸酯化合物I-M-PET3A。以N,N-二甲基乙醇胺为助引发剂,二苯甲酮为光敏剂,丙烯酸羟丙酯为活性稀释剂与I-M-PET3A共混制备的纳米压印胶...; 关键词：纳米压印光固化树脂电润湿电毛细填充

基于电流体动力学的电驱动纳米模塑技术被引量：2: 《中国基础科学》2013年第3期27-29,共3页丁玉成邵金友田洪淼李祥明; 973计划(2009CB724202);国家自然科学基金重大研究计划重点项目(90923040); 目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术,由于其受到光学衍射极限的物理限制,在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术...; 关键词：纳米制造集成电路电驱动模塑技术

Electrically induced nanostructuring over large area——a new idea from concept to practice: 《Engineering Sciences》2013年第1期23-28,38,共7页Li Xiangming Ding Yucheng Shao Jinyou Liu Hongzhong; Major Research Plan of NSFC on Nanomanufacturing(No.90923040);National Basic Research Program of China(No.2009CB724202); The paper proposes a novel nano-patterning method called electrically induced nanostructuring, where an external electric field, insteadof the external mechanical pressure, is applied to generate an electrohydrody- na...; 关键词：nano-manufacturing electrohydrodynamic force high aspect ratio NANOIMPRINTING

电驱动微纳米模塑技术的成形机理及工艺参数影响研究被引量：2: 《机械工程学报》2013年第6期145-152,共8页丁玉成田洪淼邵金友李祥明; 国家自然科学基金重大研究计划(90923040);国家重点基础研究发展计划(973计划;2009CB724202)资助项目; 电驱动微纳米模塑技术较之常规压印光刻技术具有其独特的优势,其利用电场产生的Maxwell压强替代外部机械压力,实现对聚合物薄膜流变的有效驱动,可以避免压印光刻技术中机械压力引发的结构变形等问题,实现微纳米结构的保真复形。针对电...; 关键词：微纳制造图形转移纳米压印电驱动微纳结构模塑麦克斯韦应力

数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响被引量：1: 《微纳电子技术》2012年第11期736-742,共7页田洪淼邵金友丁玉成李欣李祥明; 国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202);中央高校基本科研业务费资助项目(xjj20100145); 电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注。为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程...; 关键词：电场诱导聚合物流变成型技术电流体动力学动网格技术微纳结构数值仿真

纳米压印中聚合物界面行为的分子动力学被引量：4: 《高分子材料科学与工程》2011年第6期186-190,共5页熊孝东魏正英杜军丁玉成; 国家自然科学基金资助项目(50975227);全国博士学位论文作者专项资金(200740);国家自然基金重大研究计划(90923040);长江学者和创新团队发展计划(IRT0646)资助; 在纳米压印中,模具和聚合物之间的相互作用能对(?)特征的图型转移质量有着重要影响,文中利用分子动力学分别选择聚二甲基硅氧(PDMS),聚乙烯(PE),聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)研究了他们和模具壁面之间在不同距离时,壁面和聚合物之间相互作用...; 关键词：纳米压印分子动力学聚合物吸附相互作用能

电场诱导微结构图形化形成机理及常温制备工艺被引量：6: 《纳米技术与精密工程》2010年第6期504-509,共6页李欣邵金友田洪淼刘红忠丁玉成; 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202);国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040); 利用液体薄膜表面热扰动造成的表面张力失稳特性,提出一种常温条件下的非接触式电场诱导聚合物图形化技术.采用Navier-Stokes方程和线性稳定分析理论建立了薄膜流体的电场诱导力学模型,阐明了电场诱导过程中微结构的形成机理和周期特性...; 关键词：电场诱导图形化常温微结构紫外光固化型聚合物

常温微压印中抗蚀剂流动的研究及工艺优化被引量：4: 《光学精密工程》2010年第8期1822-1832,共11页魏正英熊孝东杜军丁玉成; 国家自然科学基金资助项目(No.50975227);国家自然基金重大研究计划资助项目(No.90923040);全国博士学位论文作者专项资金资助项目(No.200740);长江学者和创新团队发展计划资助项目(No.IRT0646); 为提高微压印中抗蚀剂的复型精度,利用POLYFLOW,基于流固耦合方法对常温压印过程中抗蚀剂的流动进行了有限元模拟,系统地分析了抗蚀剂的初始厚度,留膜厚度,模具的深宽比,占空比,模具下压速度等因素对抗蚀剂流动填充的影响规律。搭建了...; 关键词：常温微压印填充饱和度占空比可视化实验优化

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