国家自然科学基金(50420120134)

作品数：27被引量：154H指数：7
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纳米三坐标测量机接触式测头触发控制被引量：7
《光学精密工程》2010年第12期2603-2609,共7页程方 费业泰 
国家自然科学基金重大国际合作资助项目(No.50420120134)
为高灵敏度纳米三坐标测量机(nano-CMM)接触式测头提出了一种高精度高效率的触发控制策略。该策略使用了一种自行研制的4-DVD接触式测头,工件接触测头产生的微小变形会导致测头产生灵敏度极高的触发信号。系统使用超声波马达整合不同驱...
关键词：纳米三坐标测量机 接触式测头 超声波马达 二次触发 
新型高精度多通道测温系统的研究被引量：3
《工具技术》2010年第9期76-79,共4页高峰 张辉 
国家自然科学基金资助项目(50420120134)
提出一种基于NTC热敏电阻的新型高精度多通道测温方案。采用比较测量法,消除了恒流源的不确定性对测量精度的影响;采用高性能模拟开关进行切换,实现了多通道测温。设计了测量电路,通过采用电流倒向技术和恒流源与ADC共用基准源,提高了...
关键词：多通道测温 比较测量 测量精度 恒流源 ADC 电流倒向 
纳米三坐标测量机的误差分析与分离被引量：3
《安徽理工大学学报（自然科学版）》2010年第3期36-40,共5页杨洪涛 费业泰 陈晓怀 夏瑞雪 
国家自然基金重大国际合作研究基金资助项目(50420120134)
针对所研制的纳米三坐标测量机的具体结构,运用现代精度保障理论和技术,结合动、静力学相关知识,进行了纳米量级水平的误差源全面分析,对各误差的表现形式和影响进行了详细的描述,为后续的误差分配和结构优化设计打下基础。根据纳米坐...
关键词：纳米三坐标测量机 误差源分析 三光束平面干涉仪 误差分离 
纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量(英文)被引量：8
《纳米技术与精密工程》2010年第2期107-113,共7页程方 范光照 费业泰 
国家自然科学基金资助项目(50420120134)
提出了一种用于纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量的方法.确定了预行程需侦测接触点和触发点两个关键点.为了对该高灵敏度的测头进行标定,整个实验系统需要3个基本条件:纳米级驱动器,高分辨率传感器和多级速度控制算法.本研究使用...
关键词：纳米三坐标测量机 接触式测头 单方向重复性 预行程 二次触发 
纳米磁悬浮二维工作台力平衡结构设计
《农业机械学报》2009年第9期197-200,共4页程伶俐 余晓芬 
国家自然科学基金资助项目(50420120134)
为了消除附加力矩对纳米磁悬浮二维工作台平稳直线运动的影响,研究了工作台的磁力、重力及摩擦力等各种作用力。基于力平衡原理对纳米工作台进行了结构设计,得到了纳米电动机驱动力的作用方向和作用点坐标。在此基础上进行了工作台运动...
关键词：力平衡设计 磁浮力 纳米工作台 
非同步采样法的光栅纳米测量被引量：5
《计量学报》2008年第4期293-296,共4页徐从裕 余晓芬 
国家自然科学基金(50775063);国家自然科学基金重大国际合作项目(50420120134);"现代测试与制造质量"安徽省高等学校省级重点试验室资助项目;合肥工业大学研究生科技创新基金资助项目
光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数。基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍...
关键词：计量学 光栅纳米测量 非同步采样 数据处理 分辨率 
双模态超声波电机小波驱动的测量与控制
《应用科学学报》2008年第2期199-203,共5页徐从裕 余晓芬 
国家自然科学基金(No.50775063);国家自然科学基金重大国际合作(No.50420120134);"现代测试与制造质量"安徽省高等学校省级重点试验室;合肥工业大学研究生科技创新基金(No.101-038901)资助项目
针对双模态USM在微纳米测控领域中的应用特点,设计单一的小波驱动模式代替现有的组合驱动模式.一个小波驱动波由8个39.6 kHz的正弦电压驱动波组成,其最高触发频率为5 kHz.小波驱动模式实现了双模态USM步距可调的步进控制功能.在定位控...
关键词：双模态USM 小波驱动 步进距 光栅测量 分辨率 定位控制 
纳米三坐标测量机误差分离方法被引量：1
《农业机械学报》2008年第3期140-143,共4页杨洪涛 费业泰 陈晓怀 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:50420120134)
根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置,实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整。从原理上分析了45°反射镜光路转...
关键词：纳米三坐标测量机 误差分离装置 设计 试验 
基于小波差动模式的双模态超声波电机驱动特性研究被引量：2
《电子测量与仪器学报》2008年第2期21-25,共5页徐从裕 余晓芬 
国家自然科学基金资助项目(编号:50775063);国家自然科学基金重大国际合作项目(编号:50420120134);"现代测试与制造质量"安徽省高等学校省级重点试验室;合肥工业大学研究生科技创新基金资助
双模态超声波电机(USM)在研制的小波差动控制下,提高了双模态USM的低速运行性能,并使双模态USM的驱动分辨率达到了纳米量级。小波差动控制的机理是通过改变双模态USM驱动头的运行轨迹来实现双模态USM的微纳驱动,以及通过控制小波驱动元...
关键词：双模态超声波电机 小波驱动元 差动控制 运行轨迹 驱动特性 
纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究被引量：8
《电子测量与仪器学报》2008年第2期42-45,共4页范伟 余晓芬 奚琳 
国家自然科学基金国际重大合作项目(编号:50420120134)
介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压电陶瓷拨爪电机的特性,设计了低摩擦的磁悬浮导轨,并采用分体...
关键词：压电陶瓷拨爪电机 纳米工作台 磁悬浮导轨 柔性铰链 光栅 
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