国家自然科学基金(50675139)

作品数：6被引量：14H指数：3
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一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真被引量：3
《系统仿真学报》2010年第7期1752-1756,共5页吴义伯 丁桂甫 张小波 王亚攀 张丛春 
国家自然科学基金(50675139);国家高技术研究发展计划"863"项目(2007AA04Z338);教育部培育基金项目(708037)
提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍电阻丝发热层,上层结构为金属偏置层,构成的多层膜结构在常温下保持悬空部分平直,通电时产生的焦耳热使...
关键词：面外运动 电热驱动 双层膜效应 SU-8 优化仿真 
Si／TiNi双层结构SMA电热驱动器的仿真和制造
《微纳电子技术》2010年第2期93-98,共6页王亚攀 吴义伯 张小波 张丛春 杨春生 
国家自然科学基金资助项目(50675139);国家高技术研究发展计划“863”资助项目(2007AA04Z338)
使用射频磁控溅射法,在Si片上沉积了TiNi形状记忆合金薄膜,分别采用能谱色散光谱仪(EDS)和差示扫描热量分析(DSC)方法测试了薄膜的成分和相变特征温度,并通过给形状记忆合金(SMA)薄膜加热及冷却,观察薄膜的形变恢复情况,定性测试了SMA...
关键词：电热驱动器 双层结构 TiNi基形状记忆合金薄膜 ANSYS仿真 Si微细加工技术 
一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器被引量：6
《传感器与微系统》2009年第8期118-120,共3页张小波 吴义伯 王亚攀 张丛春 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50675139);国家"863"计划资助项目(2007AA04Z338)
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出...
关键词：电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工 
通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关被引量：5
《振动与冲击》2009年第7期147-152,共6页蔡豪刚 丁桂甫 杨卓青 周镇威 汪红 
国家自然科学基金(50675139);863计划(2006AA04Z308,2006AA04Z326)
基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进...
关键词：微冲击开关 微机电系统 可动触点 接触时间 
Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器被引量：1
《微纳电子技术》2008年第12期706-711,共6页陈婧 丁桂甫 杨卓青 
国家自然科学基金(50675139);国家863项目(2007AA04Z338)
针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度的增加而降低;当悬空高度达到270μm时,可忽略热传导机制。在...
关键词：电热微驱动器 薄层空气热传导 Cu牺牲层 非硅表面微加工 微机电系统 
新型复合结构电热微驱动器的研制被引量：2
《传感器与微系统》2008年第5期117-120,共4页曾文光 丁桂甫 王艳 付世 蔡玉丽 
国家自然科学基金资助项目(50675139)
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电...
关键词：聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工 
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