云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家高技术研究发展计划(2002AA302613)

国家高技术研究发展计划(2002AA302613): 作品数：5被引量：38H指数：3; 导出分析报告; 相关作者：孙方宏张志明沈荷生莘海维戴永兵更多>>; 相关机构：上海交通大学更多>>; 相关期刊：《中国机械工程》《微细加工技术》《金刚石与磨料磨具工程》《电线电缆》更多>>; 相关主题：金刚石薄膜纳米金刚石薄膜纳米金刚石压模纳米金刚石复合涂层更多>>; 相关领域：金属学及工艺电子电信一般工业技术电气工程更多>>

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光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响被引量：3: 《中国机械工程》2006年第5期545-548,共4页王勇马玉平孙方宏张志明陈明; 国家自然科学基金资助项目(50575135;50275095);国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA302613); 提高金刚石薄膜的附着力和光洁度是实现CVD金刚石涂层在工模具和耐磨器件领域中广泛应用的关键因素。采用热丝CVD法在光滑WC-Co硬质合金基体表面沉积金刚石薄膜,研究了渗硼预处理新方法对光滑衬底表面抑制Co催石墨化作用和保证金刚石涂...; 关键词：金刚石薄膜渗硼光滑附着力

圆柱形衬底上高质量金刚石薄膜制备工艺研究: 《金刚石与磨料磨具工程》2005年第3期26-29,共4页马玉平王勇孙方宏陈明; 国家自然科学基金项目(50275095;50475026)国家863计划项目(2002AA302613); 本文以丙酮和氢气为气源,采用优化钽丝排列分布的偏压增强热丝CVD装置对钨丝衬底进行了金刚石薄膜沉积研究。采用扫描电镜(SEM)、拉曼(Raman)光谱等方法检测了金刚石薄膜的质量,分析了沉积工艺对金刚石形核和生长的影响。研究结果分析表...; 关键词：金刚石薄膜偏压增强热丝CVD法圆柱形衬底高质量

纳米金刚石复合涂层紧压模的制备及应用被引量：10: 《电线电缆》2003年第4期9-12,共4页张志明沈荷生孙方宏郭松寿; 国家863计划新材料领域纳米材料和微机电系统专项(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项(0159nm033)资助项目.; 本文简要介绍了化学气相法 (CVD)沉积金刚石薄膜原理和涂层模具的制备方法 ,以 WC- Co硬质合金紧压模为衬底 ,用热丝 CVD法沉积得到纳米金刚石复合涂层。检测了该涂层的 X射线衍射图、拉曼谱图和形貌。用该复合涂层技术制备得到的绞线...; 关键词：电线电缆纳米金刚石复合涂层紧压模化学气相法沉积

压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：4: 《微细加工技术》2003年第2期69-75,共7页凌行莘海维张志明孙方宏戴永兵沈荷生; 国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目; 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到...; 关键词：压阻式金刚石薄膜压力微传感器热丝CVD法掩模选择性生长法制作方法

热丝CVD法生长纳米金刚石薄膜的研究被引量：21: 《微细加工技术》2003年第1期27-33,共7页张志明莘海维戴永兵孙方宏汪涛沈荷生; 国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目; 系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜。高分辨透射电镜分析表明,薄膜的晶粒尺寸约为10nm,...; 关键词：纳米金刚石薄膜热丝CVD

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