沈阳市科技计划项目(108155-2-00)

作品数：6被引量：17H指数：2
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相关机构：中国科学院中国科学院研究生院沈阳化工大学大连外国语学院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《仪器仪表学报》更多>>
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基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制
《半导体技术》2012年第4期305-311,共7页王亮 胡静涛 
国家科技重大专项(2009ZX02008-003;2009ZX02001-005);沈阳市科技计划项目(108155-2-00)
针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和不易在线测量的特性,提出了基于径向基函数(RBF)神经网络和微粒群(PSO)算法的CMP过程run-to-run(R2R)预测控制器NNPR2R。首先通过样本数据用减聚类算法和最小二乘法构建CMP过程的RBF神经网络预...
关键词：化学机械研磨 径向基函数神经网络 预测控制 批次控制 微粒群滚动优化 
基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制被引量：3
《仪器仪表学报》2012年第2期306-314,共9页王亮 胡静涛 
国家科技重大专项(2009ZX02001-005;2009ZX02008-003);沈阳市科技计划(108155-2-00)资助项目
针对化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)过程非线性、时变、产品质量不能在线测量的特性,为了提高CMP过程R2R(Rum-to-Run)控制的精度,提出了一种基于灰色模型和克隆选择免疫算法的CMP过程R2R预测控制器GI-PR2R。通过离线...
关键词：化学机械研磨 灰色模型 克隆选择 预测控制 Run—to-Run控制 
基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析被引量：4
《信息与控制》2011年第4期477-482,共6页郑秀红 胡静涛 于海斌 
国家科技重大专项课题资助项目(2009ZX02001-005;2009ZX02008-003);沈阳市科技计划资助项目(108155-2-00)
为了分析集束装备的性能,采用随机Petri网建模方法描述装备串行加工过程.采用自底向上方式,首先建立集束装备各组成模块的基本模型,然后根据实际的加工过程构造出整个装备的随机Petri网模型.给出了模型的马尔可夫链分析过程,进一步推导...
关键词：随机PETRI网 模型 集束装备 马尔可夫链 吞吐率 
有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究被引量：5
《控制与决策》2011年第1期37-43,48,共8页李林瑛 胡静涛 
沈阳市科技计划项目(108155-2-00)
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶圆的加工顺序;内层算法在给定加工顺序...
关键词：半导体制造 集束型装备 在线调度 粒子群优化算法 滞留时间约束 
半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究被引量：4
《系统仿真学报》2010年第8期1942-1946,共5页李林瑛 胡静涛 
沈阳市科技计划(108155-2-00)
针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模...
关键词：半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型 
复杂单臂机器人集束型装备调度模型被引量：6
《信息与控制》2009年第4期431-436,共6页李林瑛 胡静涛 
沈阳市科技计划资助项目(108155-2-00)
针对一类存在并行和可重入腔的复杂单臂机器人集束型装备的调度问题,通过对加工腔、机器人、并行和可重入腔中的各个机器人活动进行分析,推导出对应的时序约束关系,建立了问题的混合整数规划模型,从而获得最优的机器人动作序列和最小周...
关键词：半导体制造 集束型装备 混合整数规划模型 并行腔 可重入腔 
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