国家自然科学基金(50676001)

作品数:9被引量:18H指数:3
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电液动力微泵的改进被引量:2
《工程热物理学报》2011年第7期1215-1217,共3页于翮 俞坚 马重芳 
国家自然科学基金资助项目(No.50676001)
介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵...
关键词:微型电液动力泵 PDMS 封装 电子冷却 
Design,fabrication and experimental research for an electrohydrodynamic micropump被引量:6
《Science China(Technological Sciences)》2010年第10期2839-2845,共7页YU He, YU Jian & MA ChongFang Key Lab of Enhanced Heat Transfer & Energy Conservation, Ministry of Education and Key Lab of Heat Transfer & Energy Conversion, Beijing Municipality, College of Enviromental and Energy Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.50676001)
This paper presented a novel electrohydrodynamic (EHD) micropump based on MEMS technology. The working mechanisms and classification of EHD micropump were introduced. The fabrication process of EHD micropump was prese...
关键词:ELECTROHYDRODYNAMIC (EHD) MEMS MICROPUMP ELECTRONIC COOLING 
电液动力微泵的制作及实验研究被引量:1
《中国科学:技术科学》2010年第10期1201-1207,共7页于翮 俞坚 马重芳 
国家自然科学基金(批准号:50676001)资助项目
提出一种基于MEMS加工技术的新型电液动力微泵,介绍了电液动力微泵的工作机理和分类;从材料的选取,微电极的优化设计及电液动力微泵的封装工艺几方面介绍了电液动力微泵的制作过程;进行了针对不同工作流体和微通道尺寸的电液动力微泵的...
关键词:电液动力效应 微机电 微泵 电子冷却 
低温等离子体杀菌的实验研究被引量:6
《环境工程学报》2009年第11期1951-1955,共5页倪盈 陈永昌 王明连 俞坚 
国家自然科学基金资助项目(50676001);2008年度传热与能源利用北京市重点实验室开放基金
由于传统的化学水处理方式有化学成分残留和环境污染问题,因而迫切需要开发新型的水处理技术。本研究针对现有杀菌消毒方法的不足之处,利用低温等离子体进行杀菌处理的实验研究,对电压、水层厚度、气体种类及电极形式的影响进行考察。...
关键词:水处理 低温等离子体 杀菌 
电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较(英文)被引量:5
《光学精密工程》2009年第7期1635-1639,共5页于翮 张强 乔大勇 俞坚 
Supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.50676001)
基于MEMS加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动力微泵的核心部分是通过MEMS加工工艺制作的由成对的发射极和集电极组成的微电极。在电极对间的强电场作用下,电介质流体中的离子、...
关键词:电液动力效应 微机电系统 微泵 微电极 
基于电液动力效应的离子拖曳微泵(英文)被引量:1
《光学精密工程》2009年第6期1338-1343,共6页于翮 张强 乔大勇 俞坚 
Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No .50676001)
介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组成,电极的宽度为40μm,发射极和集电极之间的间距为50μm,共有90对电极对,每组电极对之间的距离为100μm...
关键词:电液动力效应 离子拖曳 微机电系统 微泵 
电液动力微泵的实验分析被引量:3
《工程热物理学报》2009年第5期857-859,共3页于翮 张强 俞坚 马重芳 
国家自然科学基金资助项目(No 50676001)
本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵—电液动力微泵,微泵由一组平面电极组成,施加直流来驱动流体。相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质,电极结构和材料以及工作环境有关。
关键词:电子冷却 微型电液动力泵 实验分析 
内置式微型电液动力泵的研究
《工程热物理学报》2008年第10期1743-1745,共3页于翮 孙翠霞 俞坚 
国家自然科学基金(No.50676001)
本文介绍了一种新型电子冷却技术—微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.
关键词:电子冷却 微型电液动力泵 传热 
微型电液动力泵的实验
《功能材料与器件学报》2008年第2期508-511,共4页孙翠霞 于翮 李德胜 俞坚 
国家自然科学基金资助项目(No.50676001)
本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究。微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动。分别采用HFE7100和无水乙醇作为工作流体进行了静压头测试。使用HFE7100时最高可以得到1050Pa的压头。
关键词:电液动力泵 MEMS 离子拖曳 
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