国家高技术研究发展计划(2005AA404260)

作品数：8被引量：10H指数：2
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真空电阻凸焊过程的有限元模拟分析被引量：2
《焊接学报》2010年第12期21-24,共4页喻九阳 卢霞 王仕仙 王成刚 杨侠 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2005AA404260)
采用真空电阻凸焊进行MEMS器件的封装,可以提高成品率,降低成本.针对MEMS真空电阻凸焊过程建立热、电、结构三场耦合的有限元模型,通过分析得到凸焊筋的压溃过程、焊核的形成过程等一系列结果.结果表明,凸焊筋的压溃主要发生在通电过程...
关键词：真空电阻凸焊 热、电、结构三场耦合 凸焊筋角度 有限元法 
真空电阻凸焊预压阶段的有限元数值模拟被引量：5
《焊接技术》2008年第5期9-11,共3页王成刚 卢霞 汪学方 甘志银 张鸿海 
国家863高技术发展资助项目(2005AA404260)
许多MEMS元件需要在真空条件下才能保持良好的性能,采用真空电阻凸焊技术可以达到相当好的真空密封效果。真空电阻凸焊预压阶段采用不同凸焊筋角度和不同预压力对凸焊最终质量都有很大的影响。根据MEMS元件凸焊的具体情况,建立了一个二...
关键词：真空凸焊 有限元法 电极压力 凸焊筋角度 接触分析 
一种用于MEMS器件真空密封技术的电阻熔焊方法
《焊接技术》2008年第2期37-40,共4页王成刚 汪学方 甘志银 林栋 张鸿海 刘胜 
国家863高技术发展资助项目(2005AA404260)
提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法。低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一。通过研制的真空电阻熔焊机,设计带缓冲腔的封装外壳,实现了MEMS器件真空密封。试验结果表明,封装好的器件具有长时间真空保持性。
关键词：真空气密性 MEMS 电阻焊 
基于等离子体朗缪尔流效应的新型微机械陀螺仪
《仪表技术与传感器》2007年第7期20-22,共3页汪学方 罗小兵 艾叶 刘胜 张鸿海 甘志银 
国家自然科学基金(50545012);国家"八六三"计划MEMS专项基金(2005AA404260)
首次将等离子体作为敏感元件应用于微机械陀螺仪中,取代目前微机械陀螺仪中所采用的固体、液体或气体等元件。利用气体放电产生的等离子体朗缪尔流效应来使敏感元件产生一定速度的运动,不需另外的驱动元件。介绍了等离子体朗缪尔流效应...
关键词：等离子体 朗缪尔流效应 陀螺仪 
真空电阻焊机的研制与试验
《中国机械工程》2007年第11期1265-1268,共4页汪学方 甘志银 刘胜 张鸿海 林栋 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2005AA404260)
为了解决MEMS器件真空封装难题,设计并研制了一台将电阻焊与真空系统集成于一体的真空电阻焊机。采用波纹管和高性能密封圈来实现真空密封;采用电木板或聚四氟乙烯等真空泄漏率低的绝缘材料来实现绝缘。有限元分析表明,焊接高温并不会...
关键词：真空电阻焊 真空封装 MEMS 密封 
基于MEMS技术的人造视网膜传感器系统设计
《传感器与微系统》2007年第5期94-96,共3页汪学方 张波 刘胜 刘磊 
国家"863"计划资助项目(2005AA404260)
电刺激视网膜相关组织是现阶段治疗视网膜色素变性和黄斑病变的一种新途径,运用微加工技术,通过人造视网膜传感芯片替代受损的视网膜细胞恢复视觉是可行的,植入芯片具有微型化、柔性化及生物兼容性等特点。通过模拟仿真实验验证,设计了...
关键词：视网膜 传感器芯片 微型化 柔性 
MEMS器件真空封装工艺、装备及真空度检测的研究被引量：2
《中国机械工程》2007年第8期887-890,共4页汪学方 林栋 甘志银 刘胜 张鸿海 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2005AA404260)
开发了一台利用电阻焊实现MEMS器件真空封装的设备,探索了内部真空度在10Pa以下的MEMS器件的真空封装工艺,即一次压力为0.4MPa、二次压力为0.6MPa、充电电压为325V时封装质量最好;研究了一种利用晶振测量真空度的方法,经试验,至少经两...
关键词：电阻焊 真空封装 真空度检测 晶振 
基于熔焊的MEMS真空封装被引量：1
《电子工业专用设备》2006年第10期49-52,共4页林栋 甘志银 汪学方 王成刚 张鸿海 刘胜 
国家863高技术发展资助项目(2005AA404260)
利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装,制定了基于熔焊的工艺路线,进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素,并对真空封装器件封装强度进行了检测。
关键词：真空封装 MEMS 熔焊 
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