博士科研启动基金(002401003252)

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氟化类金刚石薄膜介电性能研究
《真空》2010年第5期49-52,共4页肖剑荣 王德安 梁业广 
广西教育厅科研资助项目(200807MS044);桂林理工大学博士启动基金资助项目(002401003252)
采用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了氟化类金刚石薄膜。利用俄歇电子能谱、绝缘电阻测试仪、耐压测试仪和QS电桥对样品组分和介电性能进行了表征、分析。结果表明：薄膜的介电常数εr在2.07~2.65之间,绝缘电阻在245 MΩ左右,击...
关键词：氟化类金刚石薄膜 离子体增强化学气相沉积 绝缘电阻 介电常数 
氮化铜薄膜的研究被引量：1
《材料导报》2009年第21期115-117,共3页肖剑荣 蒋爱华 
广西教育厅科研基金项目(200807MS044);桂林理工大学博士基金项目(002401003252)
氮化铜(Cu3N)薄膜是一种新型的电、光学材料,它具有典型的反三氧化铼结构,由于Cu原子没有很好地占据(111)晶格面的紧密位置,在薄膜中掺杂之后,薄膜的电、光学性质会发生显著变化。Cu3N在较低温度下会分解为Cu和N2。介绍了Cu3N的制备方法...
关键词：氮化铜薄膜 光学带隙 热稳定性 磁控溅射 
氟化非晶碳膜的微结构分析被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第1期38-41,共4页蒋爱华 肖剑荣 
广西教育厅科研项目(No.200807MS044);桂林工学院博士启动项目(No.002401003252)
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在不同的温度下制备了氟化非晶碳膜。采用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和傅里叶红外吸收光谱(FTIR)等仪器对薄膜微结构进行了表征。研究发现,氟化非晶碳膜微观结构与薄膜生长过程温...
关键词：氟化非晶碳薄膜 PECVD 微结构 沉积温度 
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