重庆市教委科研基金(040810)

作品数：6被引量：7H指数：2
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相关期刊：《皖西学院学报》《材料导报》《山西师范大学学报（自然科学版）》《云南民族大学学报（自然科学版）》更多>>
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薄膜厚度对ZAO透明导电膜性能的影响被引量：2
《内蒙古师范大学学报（自然科学汉文版）》2007年第4期466-469,共4页靳铁良 殷胜东 
重庆市教委科研基金资助项目(040810)
采用直流反应磁控溅射法,用Al含量为2%的Zn/Al合金靶材,室温下在玻璃衬底上制备了ZAO透明导电薄膜样品.在其他参数不变的情况下,由不同溅射时间得到不同的薄膜厚度,研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO...
关键词：直流反应磁控溅射 ZAO薄膜 厚度 光电性能 
掺杂ZnO气敏特性的研究进展被引量：1
《皖西学院学报》2007年第2期56-59,共4页穆建国 马勇 张召涛 刘润华 
重庆市教委科技项目(040810)
ZnO是一种新型的、性能优良的半导体材料。本文介绍了ZnO的制备和掺杂研究进展及其气敏机理,并指出了今后的发展趋势。
关键词：ZNO 掺杂 气敏特性 
气流场强度对直流磁控溅射ZAO薄膜性能的影响被引量：2
《材料导报》2007年第5期135-137,共3页殷胜东 马勇 靳铁良 
重庆市教委科研基金资助项目(040810)
用含2%Al的Zn/Al合金靶材,在不同气流场强度下使用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO∶Al)透明导电薄膜样品。定义气流场强度等于总气流量除以总气压。结果表明:气流场强度的大小对ZAO薄膜的表面形貌和电导率有较大影响,对...
关键词：ZAO薄膜 直流反应磁控溅射 气流场强度 电导率 透射率 
透明导电薄膜ZnO∶Al的组织结构分析
《山西师范大学学报（自然科学版）》2006年第2期32-36,共5页殷胜东 马勇 王楠 
重庆市教委资助项目(040810)
Zno∶Al(ZAO)透明导电薄膜具有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,因而具有优异的电学和光学性能,极具应用价值.本文研究了ZAO薄膜的微观组织结构、化学成分、及其应用前景.
关键词：ZAO薄膜 形态结构 化学成份 应用前景 
磁控溅射制备参数对ZnO∶Al光学性能的影响被引量：2
《云南民族大学学报（自然科学版）》2006年第2期126-129,共4页殷胜东 马勇 殷霖 
重庆市教委基金项目(040810)
ZnO∶A l(ZAO)透明导电薄膜是一种n型半导体,有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,具有优异的电学和光学性能,有极广的应用前景.着重分析了磁控溅射制备参数对光学性能的影响.
关键词：ZAO薄膜 光学性能 磁控溅射 
磁控溅射制备参数对ZnO:Al电学性能的影响
《淮北煤炭师范学院学报（自然科学版）》2006年第1期16-21,共6页殷胜东 马勇 籍勇亮 
重庆市教委科研基金资助项目(040810)
ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜是一种n型半导体,有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,具有优异的电学和光学性能,有极广的应用前景.本文介绍了ZAO薄膜的广泛用途和今后研究的趋势,并着重分析了磁控溅射制备参数对电学性能的影响.
关键词：ZAO薄膜 电学性能 磁控溅射 
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