国防基础科研计划(k1401060130)

作品数:3被引量:9H指数:2
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面向微操作的组合式微夹持器被引量:1
《哈尔滨工业大学学报》2006年第6期862-864,共3页陈立国 荣伟彬 孙立宁 
国防基础科研项目(k1401060130)
基于宏微结合的设计思想,提出一种组合式微夹持器结构.采用微直线电机机构实现毫米级的宏运动,采用双晶片压电悬梁机构实现微米级的微运动.介绍组合式微夹持器的组成原理并对压电悬梁形变特性进行了有限元分析.在此基础上,开发微夹持器...
关键词:微操作 微夹持器 双晶片压电悬梁 微直线电机 
MEMS器件微装配系统的设计与研制被引量:3
《中国机械工程》2005年第14期1226-1228,1232,共4页陈立国 孙立宁 荣伟彬 谢晖 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450);国防基础研究项目(k1401060130)
在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS...
关键词:微装配 MEMS 显微视觉 作业工具 
基于显微视觉的MEMS微装配系统研究被引量:6
《机械与电子》2005年第5期31-33,共3页陈立国 孙立宁 边信黔 荣伟彬 
国家 八六三"MEMS重大专项(2002AA404450);国防基础科研项目(k1401060130)
提出一种基于显微视觉伺服控制的MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机及关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板粘接为示范应用开展了实验研究,表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究.
关键词:微装配 微机电系统 显微视觉 
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