国家自然科学基金(51035005)

作品数：26被引量：45H指数：3
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相关作者：李以贵杉山进陈翔刘景全廖哲勋更多>>
相关机构：上海应用技术大学上海交通大学上海应用技术学院日本立命馆大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《红外与激光工程》《中国激光》《激光与光电子学进展》更多>>
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基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜
《微纳电子技术》2022年第1期66-73,共8页王一 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市农委重点项目(沪农科创字(2018)第3-3号)。
可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展。基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了一种压电驱动的可变形反射微镜,可通过电信号的控制实现微镜的驱动控制。设计的...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 自适应光学系统 可变形反射微镜 硅镜片 压电材料 
基于激光切割的二自由度悬臂梁式压电能量采集器被引量：3
《微纳电子技术》2021年第12期1088-1093,1099,共7页董璇 王保志 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海市“联盟计划”资助项目(LM201929)。
为达到拓宽有效输出带宽的目的,设计了一种二自由度的锆钛酸铅(PZT)悬臂梁式压电能量采集器。通过激光切割加工悬臂梁式压电能量采集器,制备了镂空式的二自由度的PZT悬臂梁式压电能量采集器结构。利用COMSOL软件,对二自由度的PZT悬臂梁...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 压电能量采集 激光切割 二自由度 带宽优化 COMSOL仿真 
微热对流式惯性传感器悬臂梁结构的优化与制备被引量：1
《微纳电子技术》2021年第12期1108-1113,共6页王佩英 邱霁玄 王欢 张成功 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市农委重点项目(沪农科创字(2018)第3-3号)。
为进一步提高微热对流式惯性传感器的设计精度与灵敏度,对常用的悬臂梁结构进行了优化。设计了三种不同悬臂梁结构尺寸的微热对流式陀螺仪作为实验载体。为得到悬臂梁结构对传感器灵敏度的影响,仿真分析了三种不同尺寸悬臂梁的加热器功...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 传感器 微陀螺仪 热传导 悬臂梁 
基于聚酰亚胺薄膜的柔性Cu-Ni热电堆的制备与性能被引量：2
《微纳电子技术》2021年第11期1030-1034,1045,共6页邱霁玄 王佩英 王欢 张成功 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海“联盟计划”资助项目(LM201929)。
基于塞贝克原理,在聚酰亚胺薄膜上采用溅射、光刻和剥离工艺制成由78对Cu-Ni热电偶组成的闭合回路热电堆,可满足人体穿戴设备对灵活性与集成性的要求。进一步将热电堆使用波形模具成型为波浪形,成型后在上下表面分别覆盖石墨层。热电堆...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 热电堆 人体穿戴设备 柔性材料 石墨 
用于机器人手指的SOI基板微压阻式力传感器被引量：3
《微纳电子技术》2021年第6期515-521,530,共8页邱霁玄 王佩英 王欢 张成功 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海“联盟计划”资助项目(LM201929)。
压阻式力传感器常被用作工业机器人手指接触力传感器,为准确测量微小力与力矩,设计并测试了一种用于六自由度微力测量的微压阻式力传感器。该传感器由传力支柱、软半球盖、力-力矩传感结构和Wheatstone电桥四部分构成。采用有限元方法...
关键词：MEMS力传感器 压阻式传感器 有限元分析 微细加工 微力测量 
基于pn结的微热加速度传感器
《微纳电子技术》2021年第5期410-415,共6页王佩英 邱霁玄 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号)。
在密闭腔室,设计加热器和测温元件结构并充入气体后加热,腔室内可以形成稳定的热对流场。由于气体存在惯性,当外界有加速度作用时,指定位置放置的pn结可以检测到温度变化。通过仿真分析优化了腔室的合适直径和pn结放置的具体位置。为有...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 传感器 微细加工技术 绝缘体上硅(SOI) PN结 
MEMS压电能量采集器的研究进展被引量：5
《微纳电子技术》2021年第4期279-291,共13页董璇 王保志 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海市“联盟计划”资助项目(LM201929)。
压电材料可以将机械能转化为电能的特殊性质引起了基于压电材料的能量采集器的研究。概述了压电能量采集器收集能量的原理,分别介绍了压电能量采集器的悬臂梁型、隔膜型和桥型这三种常用结构以及其他结构,介绍了一种利用块状压电陶瓷制...
关键词：能量采集器 压电材料 微电子机械系统(MEMS) 带宽优化 可穿戴设备 
基于Si弹性层优化的悬臂梁式微压电驱动器被引量：1
《微纳电子技术》2021年第2期131-136,共6页王保志 董璇 张成功 王欢 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海市“联盟计划”资助项目(LM201929)。
基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了悬臂梁式微压电驱动器,通过电能到机械能的转换,完成装置的位移输出任务。基于悬臂梁式微压电驱动器的设计和仿真,得出该微驱动器Si弹性层的最佳厚度为0.12 mm,仿真结果显示压电层与弹性层厚度比...
关键词：微驱动器 压电材料 逆压电效应 悬臂梁 Si弹性层 共晶键合 
微针加工技术的最新研究进展被引量：2
《微纳电子技术》2020年第11期918-930,946,共14页王洁 王欢 吴文渊 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市科技兴农重点攻关项目(沪农科创字(2018)第3-3号);上海市“联盟计划”资助项目(LM201929)。
微针作为一种新型经皮给药器具,在生物医学领域中有广泛的应用需求。结合UV-LIGA加工技术、湿法刻蚀技术、干法刻蚀技术和表面微加工技术等传统微电子机械系统(MEMS)加工技术,以及最近出现的3D打印技术、激光加工技术、拉延光刻技术和...
关键词：微电子机械系统(MEMS)工艺 3D打印技术 激光加工技术 拉延光刻技术 经皮给药 
聚合物四开叉型微针阵列的仿真、制备与测试
《传感器与微系统》2020年第6期70-72,76,共4页王洁 金敏慧 蔡金东 吴文渊 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市农委重点项目(沪农科创字(2018)第3-3号)。
通过使用MATLAB软件,设计了四开叉型微针阵列的掩模板图形,并利用仿真和掩模板图形补偿方法,改进了四开叉型微针阵列的掩模板图形,使得制备的四开叉型微针阵列的强度得到增加。采用两次移动X光曝光技术制备了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)四...
关键词：移动X光光刻技术 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)四开叉型微针 毛细管现象 
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