江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077)

作品数：6被引量：21H指数：4
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相关期刊：《机械工程与自动化》《盐城工学院学报（自然科学版）》《机械设计与制造》《现代制造技术与装备》更多>>
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化学机械抛光的理论模型研究综述被引量：4
《机械设计与制造》2010年第11期256-258,共3页黄传锦 周海 陈西府 
江苏省自然科学基础研究项目(BK2008197);江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);盐城工学院应用基础研究项目:LED衬底基片无损伤表面加工技术研究
化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是当今唯一能够提供全局平面化的技术,其抛光机理的研究是当前的热点。综述了考虑抛光液和抛光垫特性的抛光机理模型,分析了各模型的相关特点,最后对CMP模型的发展和研究方向提出展望。
关键词：化学机械抛光 平坦化 抛光率 抛光垫 
衬底基片精密加工过程中宏观质量控制
《机械设计与制造》2010年第9期259-261,共3页周海 白立刚 赵梓皓 王黛萍 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008197);江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);江苏省"青蓝工程"项目;盐城工学院重点建设学科开放项目(XKY2009059)
衬底基片的宏观质量包括外形完整性、翘曲度、尺寸精度等。在分析衬底基片精密加工工艺基础上,得出影响宏观质量的因素有:晶片切片方式、粘盘的方法、研磨抛光崩边、表层应力、抛光液的成份。提出采用线切割、真空粘盘,提高坯料的平整...
关键词：衬底基片 表面完整性 翘曲度 化学机械抛光 
衬底基片表面加工变形问题研究被引量：2
《盐城工学院学报（自然科学版）》2009年第3期5-8,共4页周海 王黛萍 陈西府 
江苏省自然科学基础研究项目(BK2008197);江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);盐城工学院机械工程重点建设学科开放项目(XKY2009059)
在分析衬底基片加工工艺和衬底基片加工试验的基础上,得出导致衬底基片表面变形的因素有:支承盘精度、粘片的方法、衬底基片的表层应力、抛光垫的材质。提出采用较高刚度和硬度的陶瓷支承盘和及时修整,使支承盘保持较高的表面形状精度...
关键词：衬底片 加工变形 化学机械抛光 抛光垫 
抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究被引量：6
《机械设计与制造》2009年第8期88-90,共3页周海 王黛萍 王兵 陈西府 冶远祥 
江苏省自然科学基础研究项目(BK2008197);江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119);江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX026)
在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛...
关键词：蓝宝石 衬底片 化学机械抛光 抛光垫 
化学机械抛光工艺中的抛光垫被引量：5
《机械工程与自动化》2008年第6期73-75,共3页周海 王黛萍 王兵 陈西府 冶远祥 
江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);江苏省自然科学基础研究项目(BK2008197);江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119);江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX026)
抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修...
关键词：化学机械抛光 抛光垫 表面粗糙度 
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析被引量：5
《现代制造技术与装备》2008年第4期17-18,25,共3页王兵 顾建峰 何辉辉 汤云霞 周海 陈西府 冶远祥 
江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077);江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119);江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX011);盐城市科技局科技发展计划项目(YK2007018)
本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。
关键词：蓝宝石 化学机械抛光 运动分析 计算机仿真 
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