国家自然科学基金(U0774001)

作品数：6被引量：36H指数：3
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相关作者：李戈扬孔明乌晓燕陈扬辉李冠群更多>>
相关机构：上海交通大学上海海事大学更多>>
相关期刊：《工具技术》《真空科学与技术学报》《无机材料学报》《物理学报》更多>>
相关主题：微结构超硬效应纳米多层膜磁控溅射碳化钒更多>>
相关领域：理学金属学及工艺更多>>
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反应溅射HfC/Si_3N_4纳米多层膜的微结构与力学性能被引量：3
《真空科学与技术学报》2011年第5期574-578,共5页张晶晶 许辉 祝新发 李冠群 李戈扬 
国家科技支撑项目(2008BAF32B06);国家自然科学基金资助项目(U0774001)
通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si3N4层厚的HfC/Si3N4纳米多层膜,采用X射线光电子能谱、X射线衍射、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构、硬度与弹性模量,研究了Si3N4层厚度变化对纳米多层膜微结构与力学性能的影响。...
关键词：HfC/Si3N4 纳米多层膜 外延生长 超硬效应 
溅射气压对碳化钒薄膜微结构与力学性能的影响被引量：4
《真空科学与技术学报》2011年第2期216-220,共5页沈洁 李冠群 李玉阁 李戈扬 
国家自然科学基金项目(U0774001);国家科技支撑项目(No.2008BAF32B06)
采用碳化钒靶的磁控溅射方法在不同的Ar气压下制备了一系列碳化钒薄膜,利用能量分析光谱仪,X射线衍射,扫描电子显微镜,原子力显微镜和微力学探针研究了气压对薄膜成分、相组成、微结构以及力学性能的影响。结果表明磁控溅射VC陶瓷靶可...
关键词：碳化钒 硬质薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
工艺参数对磁控溅射碳化锆薄膜的微结构与力学性能影响被引量：1
《工具技术》2011年第1期16-19,共4页陈扬辉 张晶晶 周颐辛 李戈扬 
国家科技支撑项目(2008BAF32B06);国家自然科学基金资助项目(U0774001)
采用碳化锆靶通过磁控溅射方法制备一系列碳化锆薄膜,采用XRD、SEM、AFM和微力学探针研究溅射气压和基片温度对碳化锆薄膜的微结构和力学性能的影响。结果表明:低溅射气压下,薄膜呈现结晶良好的柱状晶结构,其硬度和弹性模量分别为30.1GP...
关键词：碳化锆薄膜 磁控溅射 微结构 力学性能 
陶瓷硬质纳米多层膜研究进展被引量：17
《无机材料学报》2010年第2期113-119,共7页孔明 岳建岭 李戈扬 
国家自然科学基金(U0774001);国家科技支撑计划(2008BAF32B06)
陶瓷纳米多层膜因具超硬效应而成为近年的研究热点.本文对这类人工材料的研究进展和存在的不足进行了评述,并展望了进一步研究的方向.二十年来,陶瓷纳米多层膜的实验研究已取得明显进展:在微结构特征方面,两调制层形成共格外延生长结构...
关键词：纳米多层膜 超硬效应 共格生长 模板效应 强化机制 
Si_3N_4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应被引量：3
《物理学报》2009年第4期2654-2659,共6页乌晓燕 孔明 赵文济 李戈扬 
国家自然科学基金(批准号:U0774001)资助的课题~~
采用反应磁控溅射法制备了一系列具有不同Si3N4层厚度的AlN/Si3N4纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能.研究了Si3N4层在AlN/Si3N4纳米多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长结...
关键词：AlN/Si3N4纳米多层膜 外延生长 赝晶体 超硬效应 
反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能被引量：12
《真空科学与技术学报》2009年第2期168-172,共5页李广泽 乌晓燕 陈扬辉 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.U0774001)
在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能。研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响。结果表明,采用...
关键词：碳化钒 硬质薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射 
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