国家高技术研究发展计划(2008AA04Z312)

作品数：5被引量：17H指数：2
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相关领域：机械工程交通运输工程电气工程更多>>
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微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第3期265-269,共5页王嫘 韩丰田 董景新 刘云峰 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA04Z312);国家自然科学基金资助项目(40174049);航空科学基金资助项目(20100858005)
为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、...
关键词：微静电陀螺 体硅工艺 铝牺牲层 静电键合 
六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计被引量：1
《中国惯性技术学报》2010年第2期209-213,共5页段光武 韩丰田 付真斌 
国家863项目(2008AA04Z312)
传统的静电加速度计在空间微弱加速度测量方面可以获得极高的分辨率。提出了一种采用静电悬浮、可实现六轴加速度测量的微静电加速度计。敏感组合件采用玻璃-硅-玻璃三层键合结构、体硅加工工艺;检测质量采用"回"字形结构,以提高加速度...
关键词：微加速度计 六自由度 静电悬浮 气膜阻尼 
微静电陀螺仪再平衡回路设计被引量：2
《中国惯性技术学报》2010年第1期97-100,共4页韩丰田 付中泽 
国家863计划资助项目(2008AA04Z312)
微静电陀螺仪依靠可控的静电力,将高速旋转的陀螺转子稳定地悬浮在高真空的电极腔中心,是一种能实现两自由度角速率测量的新型微机电陀螺。针对大角度、高角速率的捷联式惯性导航系统应用,对陀螺仪再平衡回路进行了设计。讨论了陀螺仪...
关键词：微机械陀螺 静电悬浮 再平衡回路 稳定性 
转子悬浮式微静电电机的检测电路设计被引量：8
《电子测量与仪器学报》2009年第7期73-77,共5页陈喆 韩丰田 
863计划(编号:2008AA04Z312)资助项目;国家自然科学基金(编号:50577036)资助项目
静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来,具有极高的工作寿命,可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动,然后借助于悬浮控...
关键词：微位移检测 静电悬浮电机 差动电容传感器 微机电系统 
Modeling and Analysis of a Micromotor with an Electrostatically Levitated Rotor被引量：5
《Chinese Journal of Mechanical Engineering》2009年第1期1-8,共8页HAN Fengtian WU Qiuping ZHANG Rong 
supported by National Hi-tech Research and Development Program of China (863 Program, Grant No. 2008AA04Z312);National Natural Science Foundation of China (Grant No. 50577036)
The modeling and evaluation of a prototype rotary micromotor where the annular rotor is supported electrostatically in five degrees of freedom is presented in order to study the behavior of this levitated micromotor a...
关键词：electrostatic levitation electrostatic micromotor variable-capacitance motor MICRO-GYROSCOPE 
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