云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(11175024)

国家自然科学基金(11175024): 作品数：14被引量：41H指数：4; 导出分析报告; 相关作者：陈强桑利军刘忠伟赵桥桥李兴存更多>>; 相关机构：北京印刷学院国家知识产权局更多>>; 相关期刊：《Chinese Physics B》《包装工程》《光谱学与光谱分析》《物理学报》更多>>; 相关主题：SIOXSISTED等离子体辅助原子层沉积更多>>; 相关领域：理学化学工程一般工业技术金属学及工艺更多>>

聚乙烯薄膜表面沉积纳米SiO_x涂层的阻隔性能被引量：9: 《中国表面工程》2015年第3期36-41,共6页桑利军王敏陈强刘忠伟王正铎; 北京市教育委员会科研计划面上项目(KM201310015006);国家自然科学基金(11175024);2014年北京市本科生科学研究计划项目(08150114/040);北京印刷学院校级资助项目(Eb201502); 为了提高药品包装用聚乙烯(PE)薄膜的阻隔性能,利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以氧气(O2)和六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为氧化性气体和硅源单体,在PE薄膜表面沉积一层纳米厚度的柔性SiOx涂层。采用傅里叶变换红外吸收光谱、原子力...; 关键词：射频等离子体 SiOx涂层 PE薄膜气体透过率

短管螺旋波放电中等离子体参数测量和模式转化研究被引量：11: 《物理学报》2014年第23期206-211,共6页赵高熊玉卿马超刘忠伟陈强; 国家自然科学基金(批准号:11175024;11375031);科技部十二五科技支撑项目(批准号:2011BAD24B01);国家科技支撑计划(批准号:E-b-2012-40);北京印刷学院重点项目(批准号:23190113051);北京印刷学院科研基金;真空技术与物理重点实验室开放基金资助的课题~~; 对长度为45 cm的短放电管螺旋波放电等离子体进行了Langmuir探针、原子发射光谱以及集成电荷耦合检测器(ICCD)检测诊断,研究螺旋波等离子体的放电特性.Langmuir探针数据显示电子密度在射频功率增加过程中出现两次大幅增长,由此确认了放...; 关键词：螺旋波放电原子发射光谱集成电荷检测器径向区域的变化

Properties of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Barrier Coatings and Encapsulated Polymer Solar Cells被引量：1: 《Plasma Science and Technology》2014年第1期45-49,共5页齐磊张春梅陈强; supported by National Natural Science Foundation of China(No.11175024);Beijing Natural Science Foundation(No.1112012);2011BAD24B01;KM 201110015008;KM 201010015005;BIGC Key Project(No.23190113051);PHR20110516;PHR201107145;Fujian Provincial Department of Science and Technology Key Project of China(No.2012H0008); In this paper, we report silicon oxide coatings deposited by plasma enhanced chem- ical vapor deposition technology （PECVD） on 125 pm polyethyleneterephthalate （PET） surfaces for the purpose of the shelf lifetime ...; 关键词：PECVD polymer solar cells encapsulatlon SIOX

电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究被引量：1: 《真空科学与技术学报》2013年第10期975-979,共5页赵桥桥桑利军陈强李兴存; 国家自然科学基金项目(No.11175024);北京市自然科学基金项目(No.1112012);NSFC(No.11175024);BNSF(No.1112012);2011BAD24B01;KM 201110015008;KM 201010015005;PHR20110516; 介绍了以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体装置中进行了等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究。确定了影响薄膜结构、表面形貌、和性能的因素。其中薄膜的晶体结构采用X射线衍射表征、原子力显微镜表征薄...; 关键词：原子层沉积微波电子回旋共振退火表面电阻

Atmospheric Pressure Radio Frequency Dielectric Barrier Discharges in Nitrogen/Argon: 《Plasma Science and Technology》2013年第9期871-874,共4页刘忠伟杨丽珍王正铎桑利军朱强李森; supported by National Natural Science Foundation of China(No.11175024);Scientific Research Common Program of Beijing Municipal Education Commission of China(Nos.KM201110015008,KM201310015006); This work reports the experimental results on the characteristics of radio frequency dielectric barrier N2/Ar discharges. Depending on the nitrogen content in the feed gas and the input power, the discharge can operat...; 关键词：atmospheric pressure dielectric barrier discharge radio frequency discharge

白光LED用YAG黄色荧光粉实用中发射光谱的测量方法被引量：4: 《光谱学与光谱分析》2013年第7期1834-1838,共5页徐艳芳张国生李路海丁莹琨; 国家自然科学基金项目(11175024)资助; 提出了一种YAG荧光粉在实用蓝光激发下发射光谱测量的新方法。通过采用高斯函数和费米函数拟合及模拟退火优化技术,得到了混合发光光谱的数学拟合函数,从而分离出荧光粉的发射光谱,进一步表征其发光性能。实验样品的测量结果表明,与简...; 关键词：YAG荧光粉发射光谱光谱分离光度量色度量

Electron Cyclotron Resonance Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of Amorphous Al_2O_3 Thin Films: 《Plasma Science and Technology》2013年第1期52-55,共4页熊玉卿桑利军陈强杨丽珍王正铎刘忠伟; supported by National Natural Science Foundation of China(No.11175024);the Beijing Natural Science Foundation(No.1112012);Science and Technology on Surface Engineering Laboratory;the Beijing Education Committee(No.BM201002),2011BAD24B01,KM201110015008,KM201010015005 and PHR20110516; Without extra heating, Al2O3 thin films were deposited on a hydrogen-terminated Si substrate etched in hydrofluoric acid by using a self-built electron cyclotron resonance （ECR） plasma-assisted atomic layer depositi...; 关键词：ECR ALD Al2O3thin film TMA HRTEM

Characteristics and properties of metal aluminum thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology被引量：4: 《Chinese Physics B》2012年第7期559-565,共7页熊玉卿李兴存陈强雷雯雯赵桥桑利军刘忠伟王正铎杨丽珍; Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 11175024);the Beijing Natural Science Foundation, China (Grant No. 1112012);the Science and Technology on Surface Engineering Laboratory;the Beijing Education Committee, China (Grant Nos. BM201002, 2011BAD24B01, KM201110015008, KM201010015005, and PHR20110516); Metal aluminum （A1） thin films are prepared by 2450 MHz electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition on glass and p-Si substrates using trimethylaluminum as the precursor and hydrogen as the ...; 关键词：ALUMINUM plasma-assisted atomic layer deposition ANNEALING

等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究被引量：5: 《高电压技术》2012年第7期1731-1735,共5页桑利军赵桥桥胡朝丽李兴存雷雯雯陈强; 国家自然科学基金(11175024);北京市自然科学基金(1112012);北京印刷学院校级资助项目(E-b-2012-35)~~; 为在室温条件下进行氧化铝薄膜的原子层沉积,自行设计了一套微波回旋共振等离子体辅助原子层沉积装置,以三甲基铝作为铝源前躯体,氧气作为氧化剂,在室温下于氢氟酸溶液中处理过的单晶硅基片上进行了氧化铝薄膜的沉积。利用扫描电子显微...; 关键词：电子回旋共振等离子体三甲基铝(TMA) 原子层沉积表面形貌氧化铝沉积速率

Plasma-Assisted ALD of an Al_2O_3 Permeation Barrier Layer on Plastic被引量：5: 《Plasma Science and Technology》2012年第2期129-133,共5页雷雯雯李兴存陈强王正铎; supported by National Natural Science Foundation of China (No.11175024);Beijing Natural Science Foundation (No.1112012),2011BAD24B01;Scientific Research Common Program of Beijing Municipal Commission of Education(KM201110015008,KM201010015005);Funding Project for Academic Human Resources Development in Institutions of Higher Learning Under theJurisdiction of Beijing Municipality (PHR20110516); Atomic layer deposition （ALD） technique is used in the preparation of organic/inorganic layers, which requires uniform surfaces with their thickness down to several nanometers. For film with such thickness, the grow...; 关键词：ALD Al2O3 thin film different interfacial species permeation barrier layer OTR

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