四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038)

作品数：14被引量：44H指数：4
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相关作者：杨涛刘婷婷陈改革韩宾高杨更多>>
相关机构：西南科技大学中国工程物理研究院电子工程研究所重庆大学中国空气动力研究与发展中心更多>>
相关期刊：《计算机仿真》《光学精密工程》《微纳电子技术》《传感器与微系统》更多>>
相关主题：微流体计算流体力学惯性开关微电子机械系统水银更多>>
相关领域：机械工程航空宇航科学技术电子电信理学更多>>
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动态接触角对水银微流体惯性开关的影响
《机械设计与研究》2014年第2期52-55,共4页徐媛 杨涛 刘婷婷 王超 陈光焱 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024);四川省教育厅重大培育基金资助项目(07ZZ038);四川省教育厅重大培育基金资助项目(11ZA216)
针对传统微机械开关存在信号跳变、触点易磨损等缺点,设计了一种基于MEMS技术的水银微流体惯性开关。为了更准确地反映微通道中水银液滴在惯性力作用下的动态响应历程,基于Bracke、Jiang和Seebergh动态接触角模型编写用户自定义函数(UD...
关键词：惯性开关 微流体 动态接触角 阈值特性 响应时间 
水银微流体惯性开关的研制(英文)被引量：1
《纳米技术与精密工程》2013年第5期424-429,共6页徐媛 杨涛 蔺怡 刘婷婷 王超 
国家自然科学基金联合基金资助项目(11076024);四川省教育厅重大培育基金资助项目(07ZZ038,11ZA216)
针对传统微机械"固-固"型触点开关存在信号跳变、触点磨损等缺点,研制了一种利用水银液滴在变矩形截面微通道中流动来实现通断的微流体惯性开关.结合解析分析和数值仿真确定了影响开关阈值的微阀门宽度、微通道深度、侧壁扩张角等关键...
关键词：惯性开关 微流体 稳健设计 水银液滴 微机械加工 
水银微流体惯性开关的制作与测试被引量：1
《传感器与微系统》2013年第5期114-117,共4页徐媛 杨涛 蔺怡 刘婷婷 陈光焱 王超 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076024);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);四川省教育厅重大培育项目(11ZA216)
针对传统微机械"固—固"型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩形截面微通道中的流动来实现通断的微流体惯性开关。利用阳极键合和DRIE技术制作了开关微通道,采用溅射...
关键词：惯性开关 微流体 微机械加工 准静态阈值 冲击阈值 测试 
空气轴承节流器阵列气膜压强的等效电路建模被引量：4
《机械工程学报》2012年第7期156-164,共9页杨涛 陈改革 陈立 韩宾 
国家科技平台条件建设(2005DKAl0100);国家自然科学基金(11076024);四川省教育厅重大培育基金(07ZZ038)资助项目
对于空气轴承中气膜的复杂湍流运动,无法直接用解析法求解其雷诺方程。针对计算流体力学(Computational fluiddynamics,CFD)方法计算大规模节流器阵列气膜压强分布所需时间较长的问题,提出一种结合节流器单元气膜等效电路建模与分段非...
关键词：空气轴承 节流器阵列 等效电路建模 分段非线性插值 计算流体力学 
移动副速度对空气轴承影响的CFD仿真分析被引量：3
《计算机仿真》2012年第1期378-382,403,共6页陈改革 杨涛 陈立 韩宾 
国家科技平台条件建设项目(2005DKAl0100);国家自然科学基金联合基金(11076024);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038)
研究空气轴承优化控制问题,针对高速移动副空气轴承对空气轴承气膜特性会影响定位精度特点,空气轴承采用非结构化网格实现了多节流器气膜的耦合,设计的密度可控的非均匀网格划分方案克服了最大最小尺寸比偏大给实际带来的困难。根据FLU...
关键词：静压空气轴承 计算流体力学 多节流器耦合 移动轴承副速度 气膜分布 
静压空气平面轴承节流器阵列的三维CFD仿真被引量：6
《系统仿真学报》2011年第12期2709-2714,共6页杨涛 陈改革 韩宾 李磊民 
国家科技平台条件建设项目(2005DKAl0100);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038)
基于FLUENT实现了同孔径等间距孔式节流器阵列的三维CFD仿真,得到了七种阵列(1×1、2×1、2×2、3×2、3×3、4×3、4×4)的质量流量、气膜压力分布、速度分布等关键性能参数。不同节流器阵列的仿真数据表明:总质量流量与节流器个数成比...
关键词：静压空气平面轴承 节流器阵列 计算流体力学(CFD) 气膜 压力分布 速度分布 
Ka波段五位分布式MEMS传输线移相器设计被引量：4
《半导体光电》2011年第2期204-207,275,共5页贾小慧 高杨 柏鹭 王强 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金项目
通过在共面波导上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS移相器。首先给出了5位分布式MEMS移相器的总体结构图,分析了理论参数的设计方法。再采用HFSS建立单个微桥的三维电磁仿真模型,利用仿真得到的S参数拟合微...
关键词：射频微电子机械系统 分布式移相器 传输线 
静压空气平面轴承特性与节流器间距关系的仿真研究被引量：6
《西南科技大学学报》2010年第4期62-67,72,共7页陈改革 杨涛 陈立 韩宾 
国家科技平台条件建设项目(2005DKAl0100);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038)
基于FLUENT仿真了同孔径等间距孔式静压平面空气轴承节流器2×2阵列,得到了4种间距下阵列的质量流量、气膜压力分布、速度分布等,为优化节流器间距提供了依据。采用Pave和Hex/Wedge Cooper方法划分阵列的几何模型得到非均匀体网格,然后...
关键词：静压空气平面轴承 节流器间距 计算流体力学 气膜分布 
用于X波段移相器的RF MEMS开关设计被引量：6
《微纳电子技术》2010年第12期762-769,共8页柏鹭 高杨 贾小慧 王强 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金(无编号)
针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关。该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27V。利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响,包括传输线断开间距d,接触金属与传输线...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 悬臂梁 X波段 移相器 开关 
DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响被引量：4
《微纳电子技术》2010年第12期776-780,共5页王强 高杨 贾小慧 柏鹭 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金项目(无编号)
针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了使设计的梳齿谐振器频率符合应用要求,推导出了梳齿谐振器在正负侧壁倾斜角θ下的谐振频率计算公式。利用ANSYS Wor...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 梳齿谐振器 深反应离子刻蚀 高深宽比 倾斜角 谐振频率 
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