国家自然科学基金(10905013)

作品数:6被引量:20H指数:3
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相关主题:并联均流HPPMS高功率脉冲逆变类金刚石薄膜更多>>
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空心阴极真空环境焊接研究进展被引量:1
《焊接》2012年第10期25-29,34,共6页许建平 巩春志 田修波 
国家自然科学基金资助(10975041和10905013)
空心阴极真空弧方法能够在低气压条件下形成电弧放电,作为一种真空焊接或太空焊接的工艺方法已经引起了国内外的研究。文中综述了空心阴极真空弧焊技术的研究进展,从真空弧的热物理性能、焊接工艺等方面归纳分析了空心阴极真空弧焊过程...
关键词:空心阴极真空弧焊太空焊接焊接电弧 
一种新型复合加速离子注入动力学研究
《真空科学与技术学报》2012年第6期493-498,共6页朱宗涛 巩春志 汪志健 田修波 杨士勤 Ricky Fu 
国家自然科学基金项目(10975041和10905013);新世纪优秀人才计划资助项目
提出了一种基于靶台(工件)二次加速的束线离子注入的新方法,基本原理是将传统束线离子注入和等离子体离子注入有效复合。采用二维Particle-in-cell(PIC)模型对这种注入方法进行了数值仿真研究。考察了靶台加负偏压情况下靶台表面空间电...
关键词:离子注入 粒子模拟 复合加速 束线离子注入 等离子体离子注入 
梯形管内壁等离子体离子注入鞘层扩展MATLAB-PIC数值模拟被引量:2
《计算物理》2012年第2期221-226,共6页裴宪军 巩春志 汪志健 田修波 杨士勤 
国家自然科学基金(10905013和10975041)资助项目
基于MATLAB利用Particle-in-cell模型,对梯形管内壁等离子体离子注入过程,进行了二维数值模拟.计算结果表明在中心电极附近出现了"阳极鞘层",该鞘层内部不存在离子,而且在鞘层边缘离子密度最高.在上下管壁上的离子注入剂量呈现"m"形分布...
关键词:梯形管 等离子体离子注入 时空演化 PARTICLE-IN-CELL MATLAB 
1kA高功率脉冲磁控溅射电源研制及试验研究被引量:10
《真空》2011年第4期46-50,共5页桂刚 田修波 朱宗涛 吴忠振 巩春志 杨士勤 
国家自然科学基金(10905013)
高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)以其在真空镀膜上更大的优势而越来越受到重视,高压大电流电源是实现HPPMS的关键因素。本文研制了1000 A高功率脉冲磁控溅射电源,给出了电源框架图和主电路拓扑结构图。对脉冲部分采用仿真分析探索大模块IGBT...
关键词:HPPMS 1000A电源研制 逆变 并联均流 电压过冲 
方管内表面等离子体离子注入动力学GPU-PIC仿真被引量:3
《真空科学与技术学报》2011年第4期470-475,共6页汪志健 田修波 巩春志 杨士勤 Ricky Fu 
国家自然科学基金资助项目(10775036,10905013,10975041)
内表面改性近年日益受到人们重视。本文采用基于Graphic Processing Unit(GPU)的Particle-in-cell(PIC)模型对方形管内表面的离子注入动力学过程进行数值仿真研究。结果表明在注入过程中,辅助地电极周围形成离子空穴,随时间延长,离子空...
关键词:等离子体离子注入 粒子模拟 GPU 均匀性 注入能量 
射频功率对筒状聚酯内壁类金刚石薄膜结构与性能的影响研究被引量:5
《真空科学与技术学报》2010年第3期311-315,共5页李景 田雷 田修波 巩春志 杨士勤 
国家自然科学基金(50773015);国家自然科学基金(10905013);新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0349);哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2006RFXXS012)
利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光分光光度计和气体渗透率测试仪考察了射频功...
关键词:等离子体增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 射频功率 气体透过率 
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