北京市自然科学基金(2021001)

作品数:7被引量:1H指数:1
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快速热化学沉积工艺条件对制备多晶硅薄膜的影响
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1149-1151,共3页万之坚 李海峰 黄勇 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高而加快,并逐渐趋向1个稳定值.晶粒尺寸也随着温度升高而增大,在温度达到1000℃后保持不变.在此硅薄膜上,...
关键词:太阳电池 多晶硅薄膜 快速热化学气相沉积 
陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1152-1154,共3页李海峰 黄勇 万之坚 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.
关键词:陶瓷衬底 多晶硅薄膜 太阳能电池 
陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1155-1157,共3页张立明 李海峰 黄勇 张厚兴 万之坚 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
详细分析了陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池在制备过程中由于衬底的引入而导致一系列问题,比如衬底杂质含量过高、热膨胀系数等热力学参数和硅不匹配、沉积过程中杂质扩散以及晶体学参数不匹配导致沉积的硅薄膜晶粒不能长大等.针对衬底可...
关键词:陶瓷衬底 制备技术 太阳能电池 
薄膜太阳能电池的研究进展被引量:1
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1158-1160,共3页张厚兴 黄勇 李海峰 万之坚 张立明 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
第二代薄膜电池有希望能大幅度降低电池的成本,真正实现太阳能电池的大规模应用.本文详细介绍了第二代薄膜电池的分类、制备工艺以及研究现状等.
关键词:染料敏化 多晶硅薄膜 薄膜电池 
陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期931-933,共3页万之坚 李海峰 黄勇 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜...
关键词:陶瓷衬底 多晶硅 薄膜电池 
多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期865-867,共3页李海峰 黄勇 万之坚 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得...
关键词:陶瓷衬底 复合陶瓷设计 薄膜电池 
多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺
《稀有金属材料与工程》2005年第z1期464-466,共3页张立明 李海峰 黄勇 张厚兴 万之坚 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.
关键词:陶瓷衬底 多晶硅薄膜 太阳能电池 
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