江苏省自然科学基金(BK2007193)

作品数：8被引量：13H指数：2
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相关机构：南京航空航天大学淮安信息职业技术学院中国航天科工集团公司更多>>
相关期刊：《机械制造与自动化》《中国机械工程》《功能材料》《材料科学与工艺》更多>>
相关主题：金刚石膜EACVD温度场急回特性小型化更多>>
相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术化学工程更多>>
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工艺条件对金刚石膜红外透射率影响的研究被引量：1
《材料科学与工艺》2010年第3期322-325,共4页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007193)
为了优化金刚石沉积工艺,制备高透射率的CVD金刚石薄膜,采用傅里叶红外光谱仪对不同工艺条件下制备的CVD金刚石膜的红外透射率进行了测量,分析了不同工艺条件对金刚石膜红外透射率的影响,获得了最佳沉积参数.结果表明,金刚石膜的红外透...
关键词：CVD 金刚石膜 红外透射率 工艺条件 
整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究被引量：2
《人工晶体学报》2010年第2期345-349,共5页林欢庆 卢文壮 左敦稳 徐锋 袁佳晶 马乐娟 
国家自然科学基金(No.50605032);江苏省自然科学基金(No.BK2007193)
本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Ram...
关键词：铣刀 CVD金刚石 涂层 三维流场 
EACVD摆动衬底空间流场有限元模拟研究
《人工晶体学报》2010年第1期251-256,共6页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰 陈拥军 
国家自然科学基金(No.50605032);江苏省自然科学基金(BK2007193)
根据EACVD系统的实际几何特点和工艺参数建立了该系统的三维流场有限元模型,研究了衬底温度及摆动周期、热丝参数、进气口参数对衬底表面流场均匀性的影响。结果表明:衬底低速摆动情况下摆动周期的变化对衬底表面流场的分布没有影响,衬...
关键词：EACVD 金刚石膜 流场 有限元模拟 
硅衬底上高增透金刚石膜的制备研究被引量：3
《功能材料》2009年第12期2008-2010,共3页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007193)
采用甲烷和氢气作为工作气体,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备上采用五段式沉积法制备了金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)以及傅立叶红外光谱仪研究了金刚石膜的结构和性质。结...
关键词：HFCVD 金刚石膜 增透 
Si_3N_4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟
《机械制造与自动化》2009年第3期16-18,36,共4页杨春 卢文壮 左敦稳 徐锋 任卫涛 
国家自然科学基金资助项目(No:50605032);江苏省自然基金资助项目(编号分别为:BK2006189和BK2007193)
纳米金刚石(NCD)薄膜涂层由于优异的力学和摩擦学性能,是一种理想的轴承涂层材料。在用HFCVD方法制备NCD涂层的过程中,衬底温度是重要参数之一。首先设计了一种适合轴承内外圈NCD涂层制备的热丝夹持装置,其次分析了HFCVD系统的热交换过...
关键词：陶瓷轴承 热丝法 纳米金刚石涂层 温度场 有限元分析 
EACVD小型化系统摆动衬底设计及温度场仿真研究被引量：4
《中国机械工程》2009年第5期580-584,共5页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 林欢庆 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007193)
对传统的电子辅助化学气相沉积(EACVD)系统连续转动衬底进行改进,设计了无急回特性的曲柄摇杆机构摆动衬底,解决了原衬底结构复杂,只能单点测温,以及衬底冷却水渗漏等问题;对摆动衬底的温度场进行仿真计算,分析了不同摆动参数对衬底温...
关键词：电子辅助化学气相沉积(EACVD)小型化系统 摆动衬底 无急回特性 温度场 
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