《四川真空》

作品数：395被引量：36H指数：3
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《四川真空》
主办单位：四川省真空学会；国投南光有限公司
最新期次：2003年1期更多>>
发文主题：真空泵HL托卡马克装置真空半导体更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信核科学技术金属学及工艺更多>>
发文作者：程开富王恩耀张年满王明旭洪文玉更多>>
发文机构：中国核工业集团公司重庆光电技术研究所中国电子科技集团公司第44研究所上海市计量测试技术研究院更多>>
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国内外真空镀膜技术及设备的基本现状及国内真空镀膜设备发展的几点建议被引量：1
《四川真空》2003年第1期1-8,共8页靳毅 
本文着重在光学应用领域、半导体器件、大规模集成电路制造的应用领域、电容器、包装和装饰金属膜材应用领域，介绍国内外真空镀膜技术及设备的现状，及国内真空镀膜设备厂家的优势与差距和发展方向。
关键词：真空镀膜技术 真空镀膜设备 半导体器件 集成电路 电容器 包装 装饰金属膜材 
高真空校准系统测量标准不确定度的评定
《四川真空》2003年第1期9-12,共4页宋红 
本文叙述了高真空校准系统测量不确定度的测量方法及相对标准不确定度分量的分析。
关键词：高真空校准系统 测量标准 评定 相对不确度 扩展不确定度 
真空设备检修三要素
《四川真空》2003年第1期13-17,共5页吴根发 梁智岷 张文丽 宋红 
本文概述了影响真空设备极限真空度三个主要原因，讲解了真设备检修方法及措施。
关键词：真空设备 检修 极限真空度 真空测量 绝对真空计 相对真空计 
HL-2A真空抽气、检漏系统研制及初步调试
《四川真空》2003年第1期18-26,共9页曹曾 徐云仙 崔成和 付卫东 
本文介绍HL-2A偏滤器托卡马克装置的真空抽气、检漏系统研制和初步调试结果．HL-2A装置真空室首次烘烤并进行了10个小时的直流辉光放电清洗后，真空室的最高真空度为1．9×10^-5Pa，12小时漏放气率为4．7×10^-5Pam^3s^-1，水的分压强为...
关键词：真空抽气系统 真空检漏系统 偏滤器托卡马克装置 烘烤 直流辉光放电 清洗 真空度 核聚变实验装置 
HL-2A工程调试的边缘等离子体诊断
《四川真空》2003年第1期27-31,共5页洪文玉 严龙文 钱俊 王恩耀 
在HL-2A装置工程调试中，边缘等离子体参数是通过磁力传动的朗缪尔四探针进行研究．朗缪尔四探针是安装在可以径向向里和向外移动长杆上，以及可以绕着快速往复移动系统和磁力传动杆的轴旋转3600．它是用于测量边缘电子温度和密度，极...
关键词：HL-2A装置 工程调试 边缘等离子体 诊断 朗缪尔四探针 温度 密度 边缘电子 悬浮电位 空间电位 
HL-2A装置偏滤器靶板上探针阵列和主真空室活动探针的设计加工和诊断
《四川真空》2003年第1期32-37,共6页洪文玉 严龙文 钱俊 
HL-2A装置偏滤器靶板上的平面型朗缪尔探针阵列是用于测量同一极向截面的内外舜口上下四个个性化板上的电子温度、密度、悬浮电位、空间电位、电场舜口流速分布，研究偏滤器中等离子体参数的分布及非对称性。主真空室上磁力传动的马赫...
关键词：HL-2A装置 偏滤器 靶板 探针阵列 主真空室 活动探针 测量 舜口 边缘参数 聚变反应堆 
纳米电子／光电子器件概述
《四川真空》2003年第1期38-44,共7页程开富 
主要概述纳米电子／光电子器件的分类，并提出发展纳米电子／光电子器件的几点建议。
关键词：纳米电子/光电子器件 纳米技术 特性 电子 原子 分子 电路 半导体 
国外PtSi-SBIRFPA的技术进展及市场前景
《四川真空》2003年第1期45-55,共11页程开富 
本文全面深入地介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列(PtSi-SBIRFPA)的技术进展及市场前景．从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi单片式红外焦平面陈列(PtSi-MIRFPA)与InSb和HgCdTe混合式红...
关键词：PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列 PtSi-SBIRFPA 红外探测器 红外辐射信号 像素 响应 
《上海市、四川省真空学会真空技术西部开发研讨会》会议纪要
《四川真空》2003年第1期56-57,共2页
关键词：真空电子器件 纳米电子器件 纳米技术 生命科学 真空技术 真空泵 真空冷冻干燥 
涡轮分子泵电源分析与研究
《四川真空》2002年第2期1-11,共11页何毅 
本文主要对一种F-150型涡轮分子泵电源设计要求和工作原理进行详细地分析和讨论。
关键词：涡轮分子泵 泵电源 设计要求 
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