云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 原子层外延

原子层外延: 作品数：21被引量：16H指数：2; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：罗岚郭锐张峰赵万顺刘勇更多>>; 相关机构：中国科学院信越半导体株式会社华中科技大学华南师范大学更多>>; 相关期刊：《液晶与显示》《材料导报》《半导体光电》《光电子技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省自然科学基金广东省重大科技专项更多>>

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应用原子层外延技术分析Turbo-Disk MOCVD外延生长模式: 《液晶与显示》2004年第2期128-133,共6页王浩廖常俊范广涵刘颂豪郑树文李述体郭志友孙慧卿陈贵楚陈炼辉; 国家科技攻关计划资助项目 (No.0 0 0 68) ;国家"973"资助项目 ( 0 0 1CB3 0 93 0 2 ) ;广东省重大科技专项资助项目 (No .2 0 0 3A10 3 0 40 5 ); 应用原子层外延与分子层外延的理论研究了Turbo DiskMOCVD外延生长过程 ,发现生长主要发生在衬底表面的台阶处 ,当通过控制生长参数达到优质外延时 ,实际上是一种亚原子外延过程。; 关键词：原子层外延法分子层外延法金属有机化学气相淀积参数调整外延设备 ALE反应装置

薄膜电致发光器件制作技术的比较: 《液晶与显示》1990年第5期21-24,共4页郑永成; 引言目前,已有三个公司正在生产单色、黄色发光的薄膜电致发光（TFEL）器件。据文献报告,它们采用不同的工艺沉积有源ZnS:Mn²⁺薄膜。夏普公司采用电子束沉积,Planar公司采用热蒸发法,而洛加（Loh-ja）公司采用原子层外延和...; 关键词：薄膜电致发光射频溅射原子层外延溅射工艺电子束蒸发法器件制作热蒸发法试制阶段衬底温度产出效率

卤素输运CVD法形成的ZnS:Mn薄膜EL显示技术: 《液晶与显示》1990年第5期41-43,共3页李文连; 前言薄膜EL显示器件的显示质量高、性能可靠,在平板显示应用中正引人注目。目前ZnS:Mn橙黄色显示业已付诸实际应用。ZnS:Mn发光层的制作技术有三种:(1)电子束蒸发法(含溅射法)。把ZnS与Mn制成混合块,通过电子束使其加热蒸发,以物理沉积...; 关键词：电子束蒸发法 CVD法 EL ZNS:MN 原子层外延溅射法纤锌矿结构发光层热蒸发生长表

用原子层外延技术生长异质结器件: 《液晶与显示》1989年第4期26-29,共4页徐征; 原子层外延(ALE)是金属有机化合物气相外延生长的一种方式。用这种方法并用单层沉积工艺实现了自限单层超薄外延层的均匀生长。本文介绍了用ALE生长GaAs、AlAs单晶及GaAs/AlGaAs异质结和器件。得到的数据证明了ALE生长超薄膜层的单层均...; 关键词：原子层外延异质结 MOCVD 有源区量子阱光致发光薄膜层线宽均匀性反应室

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