软X射线

作品数：668被引量：1205H指数：13
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软X射线掠入射望远镜的成像质量评价
《光学精密工程》2019年第10期2136-2143,共8页刘鹏 陈波 张亚超 何玲平 王孝东 
国家自然科学基金资助项目（No.U1631117）;天文联合基金资助项目（No.U1731114）
为了评价软X射线掠入射望远镜的成像质量,提出了一种利用ZEMAX和MATLAB相结合的像质评价方法。根据这种方法编写的像质评价程序不仅考虑了孔径衍射、几何像差和装调误差等因素对成像质量的影响,而且加入了望远镜面形误差和X射线散射效...
关键词：X射线光学 掠入射望远镜 像质评价 表面散射 面形误差 
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统被引量：2
《光学精密工程》2017年第11期2810-2816,共7页陈家华 龚学鹏 薛松 卢启鹏 彭忠琦 宋源 王依 
国家自然科学基金资助项目(No.61404139);应用光学国家重点实验室自主基金资助项目(No.Y5743FQ158);吉林省重点科技成果转化项目(No.20150307039GX)
研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍...
关键词：同步辐射 光发射电子显微镜(PEEM) X射线显微镜 KB镜 结构设计 
氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜被引量：9
《光学精密工程》2015年第1期10-14,共5页朱京涛 岳帅鹏 涂昱淳 张一志 
国家自然科学基金资助项目(No.11375131;No.11305104);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB922203)
针对“水窗”波段（280～540 eV）对多层膜反射镜的应用需求,在Ti的L吸收边（452.5 eV）附近,优化设计了Co/Ti多层膜的膜系结构.计算了不同界面粗糙度条件下的反射率,结果显示,界面粗糙度对多层膜反射率有较大影响.采用直流磁控溅射方...
关键词：Co/Ti多层膜 磁控溅射 反应溅射 同步辐射 反射率 
软X射线双频光栅设计及制作被引量：2
《光学精密工程》2013年第7期1780-1785,共6页刘正坤 刘颖 邱克强 徐向东 付绍军 
国家自然科学基金资助项目(No.10975135)
以软X射线双频光栅作为剪切干涉元件,研究了剪切干涉法在激光等离子体诊断实验中的应用。为提高实验成功率,研究了双频光栅栅线的平行度及光栅效率。根据软X射线双频光栅栅线平行度与剪切干涉系统的干涉图像的关系,理论计算得出光栅平...
关键词：软X射线双频光栅 全息曝光 剪切干涉仪 
大面积软X射线自支撑金透射光栅的研制被引量：1
《光学精密工程》2011年第11期2589-2595,共7页邱克强 刘正坤 陈火耀 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金资助项目(No.10776030)
针对等离子体诊断及空间环境探测等领域对软X射线透射光栅的需要,采用全息光刻和微电镀技术制作了自支撑软X射线金透射光栅。在基底与光刻胶之间增加减反膜层以降低高反射基底引起的驻波效应对掩模槽形的影响,使用全息光刻技术获得了侧...
关键词：自支撑金透射光栅 全息光刻 电镀 
13．9nm Laminar 分束光栅的研制被引量：11
《光学精密工程》2009年第1期33-37,共5页谭鑫 刘颖 徐向东 洪义麟 付绍军 
国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金资助(No.10676032);国家863高技术探索基金资助项目;中国科学技术大学校青年基金资助项目
利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13.9 nm的Laminar分束光栅。光栅的线密度为1 000 lp/mm,槽深13 nm,占宽比0.43,Au膜厚度为40 nm左右;当工作波长为13.9 nm,入射角为81.2°时,其0级与-1级衍射光衍射效率乘积的最大值为8.1%,同时...
关键词：软X射线 分束光栅 衍射光栅 干涉仪 
基于多层膜的软X射线偏振测量(英文)
《光学精密工程》2007年第12期1850-1861,共12页Franz Schaefers 
综述了过去10年中德国BESSY同步辐射装置在软X射线偏振测量方面所做的工作。在BESSY同步辐射装置中,有10条椭圆波动器光束线,这可使同步加速器辐射的偏振态从线偏振光(水平或者垂直)转变为左旋或右旋圆偏振光。由于很多偏振敏感实验(例...
关键词：多层膜 软X射线 极紫外辐射 同步磕射 偏振测量 检偏器 相位片 反射率 磁光效应 
长春光机所软X射线-极紫外波段光学研究(英文)被引量：10
《光学精密工程》2007年第12期1862-1868,共7页陈波 尼启良 王君林 
Supported by the National Natural Science Foundation of China(No 40774098,No 60677043
综述了我所软X射线-极紫外波段关键技术的研究进展。描述了软X射线-极紫外波段光源技术,研制了工作波段为6 ～22 nm的微流靶激光等离子体光源;介绍了光子计数成像探测器技术,研制出了有效直径为25 mm,等效像元分辨率为0 .3 mm的极紫外...
关键词：空间光学 软X射线 极紫外 
软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析被引量：4
《光学精密工程》2007年第1期1-8,共8页巴音贺希格 朱洪春 
国家自然科学基金项目(No.60478034);中国科学院"优秀博士学位论文;院长奖获得者科研启动专项资金"项目;"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02)
在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法,改善了计算收敛性。运用改进后的微分理论对软X射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析,通过详细考察三角槽形、正弦槽形和矩形镀金光栅的软X射线-1级衍射效率对光栅结构参...
关键词：软X射线 掠入射光栅 闪耀特性 校正傅里叶展开 微分法 
水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验被引量：8
《光学精密工程》2005年第3期272-275,共4页齐立红 李忠芳 尼启良 陈波 
国家自然科学基金项目(No.10333010);中国科学院知识创新基金项目(No.60223003)
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波...
关键词：激光等离子体光源 光谱测量 软X射线 水靶 
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