体硅工艺

作品数：53被引量：142H指数：6
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相关机构：北京大学清华大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究
《传感器与微系统》2012年第7期17-19,共3页刘勐 刘欣 张威 郝一龙 
介绍了一种采用PROTEK材料作为保护层,在MEMS器件体硅湿法腐蚀加工工艺中保护金属电极的新工艺。采用这种新的工艺可以在MEMS体硅工艺传感器的加工过程中,完成所有IC工艺的加工后再进行MEMS体硅工艺的加工。实验结果表明:采用这种新的...
关键词：KOH湿法腐蚀 微机电系统 PROTEK材料 体硅工艺 
低热机械噪声MEMS加速度计设计被引量：4
《传感器与微系统》2011年第11期89-91,95,共4页杨丹琼 陈志龙 徐静 钟少龙 李四华 吴亚明 
介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,...
关键词：加速度计 热机械噪声 体硅工艺 梳齿电容 滑膜阻尼 
一种扭摆式硅微机械加速度传感器
《传感器与微系统》2006年第8期85-88,共4页毋正伟 陈德勇 杨苗苗 徐磊 
介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器,对制作过程的一些工艺问题进行探讨,并提出相应的解决办法,主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析,分辨力可以达到1mgn,...
关键词：加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统 
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