体硅工艺

作品数：53被引量：142H指数：6
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相关作者：郝一龙张大成吴亚明钟莹张国雄更多>>
相关机构：北京大学清华大学中国科学院中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关期刊：《仪器仪表学报》《遥测遥控》《西安交通大学学报》《中国惯性技术学报》更多>>
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硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)被引量：1
《传感技术学报》2012年第4期444-447,共4页刘妤 温志渝 陈李 杨红韵 
国家自然科学基金资助项目(10176040)
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干...
关键词：MEMS加速度传感器 二维电容式传感器 体硅工艺 ICP深刻蚀 
一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器被引量：2
《传感技术学报》2008年第3期486-489,共4页缪旻 卜景鹏 赵立葳 
国家自然科学基金资助(60501007);北京市科技新星计划资助(2006A44);北京市教委科技发展计划项目资助(KM200610772003);北京市委组织部北京市优秀人才培养资助个人项目资助(20061D0500700168)
提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开...
关键词：射频微机电系统 可调谐滤波器 椭圆低通滤波器 第一传输零点 频率移动 体硅微机械加工工艺 
复合量程微加速度计的研究被引量：9
《传感技术学报》2006年第05B期2200-2203,共4页熊继军 毛海央 张文栋 徐栋 郭涛 
国家自然科学基金资助(50535030;50405025;50375050);霍英东基金资助(01052)
在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满...
关键词：复合量程微加速度计 压阻式 抗过载 体硅工艺 线性度 
一个单芯片硅微惯性测量组合被引量：1
《传感技术学报》2006年第05B期2245-2247,2251,共4页常洪龙 蒋庆华 崔金强 李芊 苑伟政 杨芳 
国家自然科学基金资助(50505038)
论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度,从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不到1cm2的硅片面积...
关键词：硅微惯性测量组合 单片集成 体硅工艺 硅微陀螺 硅微加速度计 
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