注入机

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强流离子注入机晶片电荷积累及控制
《LSI制造与测试》1997年第3期23-26,35,共5页陈林 
分析了离子注入机中晶片电荷积累的物理机理，介绍了强流离子注入机中控制晶片电荷积累的方法，并讨论了强流离子注入机设计应注意的问题。
关键词：强流离子注入机 电荷积累 晶片 离子注入 
LC—13型强流氧离子注入机
《LSI制造与测试》1996年第6期12-13,共2页刘湘德 
强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。
关键词：离子注入 氧离子 注入机 
全机械扫描,保障高均匀性—伊顿大束流离子注入机精华
《LSI制造与测试》1991年第1期27-31,共5页楚歌 
关键词：离子注入机 机械扫描 伊顿大束流 
离子注入机束流轨迹的调整
《LSI制造与测试》1990年第6期32-35,共4页刘军 邬春桂 
关键词：离子注入机 束流轨迹 调整 
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