注入机

作品数：249被引量：155H指数：6
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新产品
《集成电路应用》2008年第6期43-43,共1页
太阳能电池表面清洗剂，干膜光刻胶材料，单晶圆离子注入机，工艺阀门，封装取放机。
关键词：产品 表面清洗剂 太阳能电池 离子注入机 清洗系统 单晶圆 光刻胶 封装 
离子注入机失效检测新方法
《集成电路应用》2007年第9期49-49,共1页Alexander E.Braun 
随着器件线宽和层厚的缩小，离子注入计量设备对硅片上杂质分布均匀性进行直接监测的能力已经开始受到限制。同时，特征尺寸的缩小和参数性能的要求，使关键注入参数的工艺窗口不断变窄，而离子束电流和硅片尺寸却在不断增大。这样一来...
关键词：离子注入机 失效检测 分布均匀性 离子注入工艺 直接监测 特征尺寸 计量设备 参数性能 
Cimetrix宣布CIMPortal^TM TDI Beta项目启动
《集成电路应用》2006年第8期16-16,共1页
半导体和电子行业工厂自动化软件和解决方案供应商Cimetrix日前宣布其CIMPortal^TM TDI Beta项目启动，该项目到今年九月结束。TDI规范由日本某些IDM认可采纳，他们要求设备供应商将历史数据存储到设备上，并提供软件应用，通过这些数...
关键词：Cimetrix公司 电子行业 自动化软件 离子注入机 数据存储 
微洁净环境中的颗粒监测
《集成电路应用》2003年第9期71-76,共6页沈健 
微环境的出现极大地提高了半导体加工过程的洁净度。新的微环境设计原理,例如防护罩、正压强和机械臂的应用使其性能明显地优于传统的设计。安装和调校微洁净环境的过程为精确调试工艺设备提供了的机会,使之能在ISO一级或二级洁净度的...
关键词：微洁净环境 颗粒监测 洁净度 半导体加工 离子注入机 硅片探针台 
一台专用强流氧离子注入机的研制被引量：2
《集成电路应用》2003年第2期66-70,共5页唐景庭 伍三忠 贾京英 郭健辉 刘咸成 
制备SOI材料的SIMOX技术因其工艺简单、易控制、重复性好、成本低、易向商业化过渡等优点而引起了SOI材料界更为广泛的关注。SIMOX技术所需要的最关键的设备就是大束流专用氧离子注入机。专用氧离子注入机与常规离子注入机有较大的区别...
关键词：S0I材料 SIMOX技术 氧离子注入机 高温靶室 离子源 金属污染 
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