微传感器

作品数：328被引量：985H指数：15
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微传感器表面温度非接触测试及In2O3微传感器气敏特性的研究被引量：3
《传感技术学报》2011年第12期1668-1671,共4页马晓康 丛慧 穆仁 范会涛 杨卉 祈明锋 张小水 张彤 
国家自然科学基金项目(51102109)
基于"相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同"这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的...
关键词：微气体传感器 非接触测温 热辐射 温度分布 三氧化二铟 
MEMS应变式结冰传感器设计与制作被引量：10
《传感技术学报》2011年第8期1108-1113,共6页李宗兴 陈德勇 王军波 
提出了一种MEMS应变式结冰传感器。传感器基于结冰造成薄膜刚度改变的原理,采用惠斯通电桥结构检测结冰薄膜上应变电阻的变化,感知结冰信号。传感器利用惠斯通电桥自身结构及外加温度补偿电路,可有效地抑制输出信号的温漂。通过理论分...
关键词：结冰传感器 微传感器 箔式应变片 温度补偿电路 电桥恒流驱动 
谐振敏感元件特性模拟器的研究
《传感技术学报》2011年第1期41-45,共5页邢维巍 杜艳 樊尚春 
国家自然科学基金谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器资助(60927005);国家自然科学基金微机械谐振子激励检测方法及阻尼控制研究资助(60804062)
为了实现谐振式硅微传感器测试仪器的直接校验,以及进行谐振式传感器反馈控制电路的优化研究,设计了能够模拟压阻拾振式谐振敏感元件特性的电路。其中压阻变换是该电路实现的关键。文章采用模拟电路实现对谐振敏感元件的电阻拾振特性的...
关键词：谐振式传感器 硅微机械 压阻拾振 模拟器 压控电阻 硅微传感器 
低噪声低功耗微电容读出电路的优化与设计被引量：1
《传感技术学报》2010年第8期1102-1105,共4页柴旭朝 顾晓峰 戴欢 苏小波 于宗光 
教育部新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-06-0484);教育部留学回国人员科研启动基金资助(教外司留[2008]890);江南大学自主科研计划资助(JUSRP20914)
结合斩波稳定技术,通过电容匹配和多级优化的方法分别对用于MEMS微传感器的微电容读出电路的噪声性能和功耗进行了优化。基于优化分析采用两级斩波稳定电路结构,在CSMC 0.5μm CMOS工艺下,用Cadence Spectre进行了仿真验证。结果表明能...
关键词：微传感器 读出电路 斩波稳定技术 检测电容 
基于碳纳米管微传感器阵列和随机共振的气体检测方法研究被引量：23
《传感技术学报》2010年第2期179-182,共4页惠国华 陈裕泉 
国家自然科学基金资助项目(3040000461)
提出了一种基于多壁碳纳米管微传感器阵列和非线性随机共振算法的新型气体检测方法。微传感器阵列包括碳纳米管阳极传感器和碳纳米管阴极传感器以减小检测系统的交叉灵敏度。实验检测了乙醇、丙酮和氨气三种气体,传感器阵列响应输入随...
关键词：气体传感器 微传感器 碳纳米管 随机共振 信噪比 
基于P矩阵模型的声表面波胎压微传感器研究被引量：3
《传感技术学报》2008年第6期977-980,共4页刘铁 郑亮 胡泓 李天利 
轮胎压力监视系统是一种当轮胎气压与温度超出正常标准时,能及时提醒驾驶者的系统。研究的目的在于对该系统一款新型无源无线声表面波微传感器的设计进行理论分析和参数优化。为此,根据耦合模理论推出了P矩阵模型新的表示形式并验证了...
关键词：胎压监测系统 声表面波传感器 P矩阵 插入损耗 
铜离子选择电流型薄膜传感器被引量：2
《传感技术学报》2008年第1期23-26,共4页门洪 靳继勇 王伟广 穆胜伟 王平 
国家重点基础研究发展计划973资助(2007CB206904);国家自然科学基金资助(60604023);吉林省科技发展计划资助项目(20061204);吉林省教育厅科技计划项目资助(吉教科合字[2006]第自17号)
以铜离子选择电极为靶材,采用脉冲激光沉积技术在p型单晶硅基底上制备了一种铜离子选择电流型薄膜传感器。该传感器的线性区间为10^-4~10^-6mol/L,标准曲线的斜率为71nA/decade,检出限为3.0×10^-7mol/L,适宜pH范围4~6,响应时间不超过2m...
关键词：微传感器 薄膜传感器 硅片 脉冲激光沉积 铜离子 
硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1542-1544,共3页黄咏梅 林敏 
浙江省自然科学基金资助项目(Y104338)
硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测.理论分析和数值仿真结果表...
关键词：MEMS 硅谐振微传感器 微弱信号 外差式 随机共振 
一种集成式多参数硅微传感器被引量：4
《传感技术学报》2006年第2期273-276,共4页周建发 赵玉龙 苑国英 蒋庄德 
国家自然科学基金资助(50475085)
为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工...
关键词：压力传感器 扩散 温度传感器 湿度传感器 集成传感器 
基于聚合物碳黑混合物气敏微传感器的研究被引量：2
《传感技术学报》2005年第3期504-506,513,共4页杨秋冬 谢海芬 孙晓翔 黄宜平 
通过四种不同的聚合物敏感材料以及混合的碳黑修饰在梳状微电极上,可以得到这种新型的化学气敏电阻型微传感器,将这四种不同聚合物的微传感器分别对丙酮、乙醇、甲醇、甲苯四种有机类气体进行了测试,比较其电阻的相对变化率,利用其响应...
关键词：微传感器 聚合物碳黑混合物 气敏传感器 
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