微机械技术

作品数：79被引量：138H指数：7
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MEMS传感器性能提高相关技术研究被引量：4
《仪表技术与传感器》2003年第1期8-9,25,共3页黄树森 李昕欣 王跃林 鲍敏杭 
在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。
关键词：微电子机械系统 微传感器 微执行器 微机械技术 
在工业应用中日趋重要的微传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》1995年第1期8-13,共6页E.Obemeier 林杰 
本文将以几个实例阐明微传感器在近年来的发展以及在工业上的典型应用,文中涉及一个3mbar的微压传感器,一个数字化可编程、有校正功能的1bar集成压力传感器,一个利用热传导原理的微机械气体传感器和一个可测至26GHz的功率传感器。最后...
关键词：微机械技术 气体传感器 功率传感器 微压传感器 
微机械技术正面临新突破(二)被引量：3
《仪表技术与传感器》1994年第1期3-5,共3页鲍敏杭 
从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用 表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化...
关键词：微机械 微机械技术 
微机械技术正面临新突破(一)被引量：1
《仪表技术与传感器》1993年第6期5-7,共3页鲍敏杭 
本文从历史的角度总结了微机械技术的出现、发展的历程、它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以1993年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据,介绍了微机械技术的最新进展与突破。
关键词：执行器 微机械 敏感器 
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