微开关

作品数:24被引量:39H指数:3
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机电耦合中微开关悬臂梁的瞬态分析被引量:2
《现代机械》2012年第6期66-68,共3页陈美琴 
在微机电开关梁的设计过程中,对其吸合过程的响应时间的分析具有重要的意义。对静电力驱动的微开关梁的瞬态分析用于确定设计中的结构或机器部件的响应时间是必要的。运用ANSYS软件对微梁模型进行机电耦合分析,采用Trans126换能器单元...
关键词:微梁 机电耦合 Tran126 瞬态分析 
五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计被引量:3
《微纳电子技术》2011年第10期655-659,共5页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016;2010A0302013)
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB...
关键词:射频微电子机械系统(RF MEMS) 移相器 传输线 微开关 微桥 
硅基PZT压电薄膜微开关的设计和制作被引量:1
《功能材料与器件学报》2007年第6期609-614,共6页娄利飞 杨银堂 李跃进 
国家自然科学基金(No.90207022);武器装备预研基金(No.51411040105DZ0141)
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微开关进行了结构和版图设计,根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件,对多孔硅的选择性生长进行了较为详细的实验研究,最...
关键词:锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜 微开关 多孔硅 
硅基PZT压电驱动微开关的设计和优化被引量:2
《压电与声光》2005年第4期445-448,共4页娄利飞 杨银堂 李跃进 张军琴 
国家自然科学基金资助项目(90207022)
采用压电多层微悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜微悬臂梁驱动微开关的机械性能,提出了一种新的硅基PZT压电复合多层薄膜微悬臂梁驱动微开关的制作方法。利用有限元分析软件AN SY S7.0对微悬臂梁结构进行了模态分析...
关键词:压电薄膜 有限元分析 微开关 
一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型及其应用被引量:13
《机械强度》2005年第4期460-464,共5页丁芳 曹天捷 
建立一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型,该模型将微开关悬臂梁的受力变形分为三个阶段,受电场力作用的悬臂梁阶段,受电场力作用的一端固支、另一端铰支的单跨梁阶段以及受电场力和集中力联合作用而保持自由端有指定的位移和零转角阶...
关键词:微开关 悬臂梁 电场力 微分方程 
一种RF—MEMS微开关的圆片级封装
《半导体信息》2003年第6期39-40,共2页江兴 
利用现有的CMOS工艺加工线,可以采用MEMS(微电子机械加工)技术,如利用铝悬桥微动作改变电容值控制射频传送的工作,来制作RF(射频)微开关器件。这种在晶圆片上制作的微开关含有可动的、易损的部分,需要考虑特殊的封装方法进行保护。比如...
关键词:圆片级封装 MEMS RF 划片 微动作 封装方法 机械加工 电容值 光胶 吸潮 
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