微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
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S型折叠式微悬臂梁刚度计算被引量：15
《光学精密工程》2013年第2期388-393,共6页刘双杰 郝永平 
国防装备预研基金资助项目(No.51305050300)
针对目前没有成熟的设计计算S型折叠式悬臂梁刚度公式的问题,本文利用能量法和胡克定律推导了S型折叠悬臂梁x向、y向和z向的刚度计算公式。推导过程中发现对于复杂的微悬臂梁结构,其转角处的弯矩对最终结果影响较大,不可忽略。在ANSYS中...
关键词：微悬臂梁 刚度计算 微机电系统 有限元法 
集成双光栅干涉微梁位移测量方法被引量：2
《光学精密工程》2012年第8期1747-1753,共7页冯金扬 叶雄英 陈烽 商院芳 
国家自然科学基金资助项目(No.91023027;No.50730009)
介绍了一种基于集成双光栅干涉和CCD图像测量的微梁位移测量方法,并利用相位差约为π/2的一组光栅实现了扩量程位移检测。利用表面牺牲层工艺制作敏感芯片,在玻璃基底上刻蚀深度约为入射激光波长1/8的凹槽,凹槽上下的两组光栅与正上方...
关键词：位移测量 集成双光栅干涉法 图像测量 微悬臂梁 扩量程 
低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统被引量：6
《光学精密工程》2010年第10期2178-2184,共7页佘东生 王晓东 张习文 王立鼎 
国家自然科学基金重点资助项目(No.50535030);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(No.NCET-06-0279)
研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半...
关键词：微机电系统 动态特性 低温 微悬臂梁 冲击激励 
碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器被引量：6
《光学精密工程》2008年第4期682-688,共7页梁晋涛 刘诗斌 刘君华 朱长纯 
国家自然科学基金资助项目(No.60276037)
研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器,建立了其热挠曲理论模型。为提高探测器的红外吸收特性,应用了一种新型红外吸收层材料—碳纳米管,利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅/铝/碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器。...
关键词：红外探测器 微悬臂梁 微机械技术 碳纳米管 
PT/PZT/PT薄膜微力传感器被引量：8
《光学精密工程》2007年第9期1404-1409,共6页崔岩 孟汉柏 王兢 石二磊 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.9020700390607002)
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZ...
关键词：PT/PZT/PT薄膜 微悬臂梁 微力传感器 
测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法被引量：6
《光学精密工程》2007年第9期1398-1403,共6页黄玉波 栗大超 胡小唐 傅星 张文栋 胡春光 
国家自然科学基金资助项目(No.50535030)
提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法。该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比,再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最佳匹配值。实验结果表...
关键词：显微干涉法 曲率测量 有限差分法 拟牛顿算法 最小二乘法 
集成硅微悬臂梁融合式传感器制造技术被引量：5
《光学精密工程》1995年第2期47-50,共4页温志渝 费龙 钟先信 胡松 王晓兰 
国家自然科学基金
简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种...
关键词：硅微悬臂梁 融合式传感器 微细加工技术 
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