微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：薛长国张青川滕艳华吴尚犬伍小平更多>>
相关机构：中国科学技术大学中国科学院安徽理工大学天津大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=测试技术学报x
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
SiO_(2)微悬臂梁制备及力学仿真
《测试技术学报》2021年第5期375-380,385,共7页李梦一 许昌华 
国家自然科学基金资助项目(11372269)。
利用KOH湿法腐蚀法制备SiO_(2)微悬臂梁时,发现腐蚀掩膜边缘与(100)硅片主参考面成45°角的微悬梁结构底部有未完全掏蚀和过完全掏蚀的情况.借助COMSOL Multiphysics仿真软件对微悬臂梁结构从未完全掏蚀到过完全掏蚀的三维模型进行模态...
关键词：湿法腐蚀 SiO_(2)微悬臂梁 模态频率 Von Mises应力 应力集中 
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析被引量：4
《测试技术学报》2010年第5期444-448,共5页赵振宇 卢荻 丑修建 刘俊 
国家自然科学基金资助项目(60806039);中国博士后科学基金资助项目(20090461275);山西省基础研究计划项目(20100210023-6)
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变=ε0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用AN SY S11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基...
关键词：反铁电薄膜(PLZT) 微悬臂梁 应变效应 力学行为 仿真分析 
微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析被引量：11
《测试技术学报》2006年第1期21-26,共6页鲍海飞 李昕欣 王跃林 
国家863计划资助项目(2004AA404045);国家自然科学基金资助项目(60376038)
微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成...
关键词：微悬臂梁/探针 标定 原子力显微镜 微机电系统 
原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定被引量：3
《测试技术学报》2005年第1期4-10,共7页鲍海飞 李昕欣 王跃林 
国家973重大基础研究资助项目(G1999033101);国家863计划资助项目(2004AA404045)
　利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征....
关键词：原子力显微镜 微悬臂梁 横向力 探针 相互作用力 纳米尺度 表面性质 加工制造 定量研究 研究领域 标定方法 反射原理 力学性能 度理论 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部