物理气相沉积

作品数：692被引量：2093H指数：20
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阴极碳靶电流对物理气相沉积制备ta-C薄膜性能的影响
《材料导报》2025年第10期138-142,共5页温鑫 李多生 叶寅 徐锋 郎文昌 刘俊红 于爽爽 余欣秀 
国家自然科学基金(51562027;52375441);江西省重点研发计划重点项目(20201BBE51001);江苏省重点研发计划(产业前瞻与关键核心技术)(BE2021055)。
采用物理气相沉积的方法,利用真空阴极离子沉积系统,通过改变阴极碳靶电流在硬质合金表面沉积四面体非晶碳膜(ta-C)薄膜。通过改变阴极碳靶电流(55~95 A),探究电流对ta-C薄膜综合性能的影响,并对ta-C薄膜的表面形态、化学结构、力学性...
关键词：阴极碳靶电流 ta-C薄膜 sp^(3)杂化键含量 摩擦性能 力学性能 
连续物理气相沉积带钢涂镀研究进展与应用现状
《材料导报》2025年第2期147-155,共9页赵兴源 刘昕 刘秋元 邱肖盼 张子月 江社明 张启富 
农机装备材料生产应用示范平台(TC200H01X-5)。
随着“碳达峰、碳中和”成为全球共识,新一代高强钢因在实现钢铁行业节能减排和汽车轻量化战略中扮演的关键角色受到了广泛的关注,但传统镀层技术电镀锌因氢脆危害和环保要求以及热镀锌的可镀性差等问题,已越来越难以满足其表面防护需...
关键词：物理气相沉积 带钢涂镀 锌及锌合金 耐腐蚀性 
硅基SiC薄膜制备与应用研究进展
《材料导报》2024年第7期26-39,共14页杨晨光 王秀峰 
碳化硅(SiC)材料具有极为优良的物理、化学及电学性能,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用,碳化硅还是极端工作条件下微机电系统(MEMS)的主要候选材料,成为国际上新材料、微电子和光电子领域研究的热点。同时,碳化硅有与硅同属立...
关键词：硅基碳化硅薄膜 化学气相沉积 物理气相沉积 微机电系统传感器 生物传感器 太阳能电池 
湿气阻隔涂层的研究进展被引量：1
《材料导报》2022年第13期222-228,共7页余姝君 田春蓉 
NSAF联合基金(U2030201)。
湿气阻隔涂层是指对水分渗透有一定阻隔性的涂层,可以便捷而有效地阻隔绝大部分湿气的进入,广泛用于对水汽敏感的物品和装置的包装中。无机纳米涂层由于其致密的结构而具有较好的湿气阻隔性能,但在制备和使用过程中不可避免地会产生缺...
关键词：湿气阻隔涂层 无机涂层 聚合物涂层 化学气相沉积 物理气相沉积 原子层沉积 
EB-PVD热障涂层粘结层/TGO界面性能的研究进展被引量：6
《材料导报》2021年第S01期160-162,185,共4页刘林涛 张勇 吕海兵 何飞 
本文介绍了电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备热障涂层的界面失效行为,并在此基础上综述了活性元素对粘结层/热生长氧化物层(TGO)界面性能的作用机制。
关键词：电子束物理气相沉积 热障涂层 热生长氧化物层 界面性能 
奥氏体不锈钢渗氮&物理气相沉积复合改性层的组织及性能被引量：4
《材料导报》2021年第6期6161-6166,共6页陈志林 曹驰 杨瑞成 牟鑫斌 陈碧碧 胡秋晨 
浙江省重点研发项目(2019C01090);温州市基础研究项目(G20180005)。
通过辉光离子渗扩技术对316L奥氏体不锈钢进行了不同温度下的离子渗氮处理,之后采用物理气相沉积技术在渗氮层外表面制备一层CrN涂层,检测不同温度下离子渗氮+物理气相沉积复合涂层的结合力、硬度、耐磨性和耐蚀性,并对其显微组织和物...
关键词：奥氏体不锈钢 复合改性 S相 CRN涂层 
Cu中间层对GH4099与Mo-Cu合金HIP扩散焊接头的影响被引量：1
《材料导报》2021年第2期2098-2102,共5页王铁军 张龙戈 车洪艳 董浩 郑天明 周双双 王学远 
国家自然科学基金(51675255,51761027)。
Mo-Cu合金作为一种新型的高温合金材料,既具有高熔点、低膨胀系数等性能,又具备高延展性、高导电导热性等特性,可应用到航空航天、核工业、电子等诸多领域。如何将Mo-Cu合金与耐高温、抗氧化的GH4099高温合金连接制成复合构件,从而避免...
关键词：中间层 扩散连接 热等静压 物理气相沉积 
等离子喷涂-物理气相沉积7YSZ热障涂层高温氧化过程中的阻抗谱分析被引量：4
《材料导报》2019年第4期602-606,共5页陈文龙 刘敏 张吉阜 邓子谦 肖晓玲 唐维学 
广东省科学院博士学位人才资助专项(2018GDASCX-0953);广东省科学院科研机构创新能力建设专项(2017GDASCX-0114);广东省科学院公益研究与能力建设专项(2017A070701021)~~
采用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)在预处理的粘结层表面制备了柱状结构的7YSZ热障涂层,并在大气环境下测试了该涂层在950℃的静态高温氧化性能。利用透射电镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)等对热障涂层进行了表征,并采...
关键词：等离子喷涂-物理气相沉积 柱状结构 热障涂层 高温氧化 阻抗谱 
高熵合金涂层制备及其应用的研究进展被引量：12
《材料导报》2017年第7期65-71,共7页赵钦 马国政 王海斗 李国禄 陈书赢 周羊羊 
国家自然科学基金(51535011;51675158;51675531)
高熵合金涂层又称多主元合金涂层,是一种新型合金涂层。受高熵效应的影响,涂层的组织结构主要由单一的BCC、FCC或者HCP固溶体相构成,且易于形成非晶、纳米晶和纳米复合物,呈现出优异的综合力学性能、抗高温氧化性能、耐辐射性能和生物...
关键词：高熵合金涂层 多主元合金涂层 激光熔覆 热喷涂 物理气相沉积 
物理气相沉积在耐腐蚀涂层中的应用被引量：8
《材料导报》2016年第9期75-80,共6页顾剑锋 李沛 钟庆东 
南通市产学研协同创新计划项目(BC2014010);上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室开放课题基金(SELF201501)
PVD(物理气相沉积)作为一种新型绿色的镀膜技术,由于涂层具备硬度高、耐磨性好、摩擦系数低、化学性能稳定、耐热耐氧化的特点,使其在机械、电子和光学行业得到广泛应用。近些年来随着PVD技术应用领域的不断扩展,对涂层的性能提出了更...
关键词：物理气相沉积 抗腐蚀 化学成分 涂层结构 膜基界面 
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