离子辅助沉积

作品数：103被引量：348H指数：12
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离子辅助沉积对TiO_2薄膜应力的影响被引量：4
《浙江大学学报（工学版）》2005年第11期1816-1818,1832,共4页赵永江 黄腾超 沈伟东 顾培夫 刘旭 
国家自然科学基金资助项目(60478301)
对在离子辅助沉积(IAD)和常规工艺条件下镀制的TiO2薄膜的应力进行了试验研究,并探讨了利用台阶仪测量镀膜前后基板表面曲率的方法.结果表明,当基板温度低于100℃时,在离子辅助沉积工艺条件下镀制的TiO2薄膜的应力略大于在常规工艺条件...
关键词：TIO2薄膜 离子辅助沉积 应力 
离子辅助沉积对ZnS/MgF_2滤光片光谱漂移的影响被引量：1
《浙江大学学报（工学版）》2004年第11期1511-1514,共4页鲁法珂 顾培夫 张德景 
国家自然科学基金资助项目(60078001).
采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于0.5nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚...
关键词：离子辅助沉积 ZnS/MgF2 窄带滤光片 光谱漂移 聚集密度 
离子辅助沉积对Nb_2O_5薄膜特性的影响被引量：2
《浙江大学学报（工学版）》2004年第10期1387-1390,共4页张德景 李明宇 顾培夫 
国家自然科学基金资助项目(6007801).
为了提高Nb2O5薄膜的聚集密度,改善氧化铌薄膜的光学特性和机械特性,采用霍尔源离子辅助沉积(IDA)技术在K9玻璃基板上制备了Nb2O5单层薄膜,并与常规沉积条件下制备的Nb2O5薄膜作了比较.由于IAD技术使Nb2O5膜的聚集密度提高了14%,膜层折...
关键词：Nb2O5薄膜 离子辅助沉积 聚集密度 附着力 
离子束溅射和离子辅助淀积DWDM滤光片的膜厚均匀性被引量：10
《光学技术》2001年第5期410-412,共3页顾培夫 李海峰 章岳光 刘旭 唐晋发 
用离子束溅射和离子辅助淀积技术制备DWDM滤光片的关键问题是必须获得优良的膜层厚度均匀性。采用实验修正膜层厚度修正板的办法获得了较好的均匀性分布 ,给出了实验配置、实验方法和实验结果 。
关键词：离子束溅射 DWDM滤光片 厚度均匀性 离子辅助沉积 光学薄膜 
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